[發(fā)明專利]振動元件、振子、振蕩器、電子設備及移動體

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410076565.8
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN104038178A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發(fā)明（設計）人: 菊島正幸;田中雅子;小幡直久;海野幸浩
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/19
• 分類號: H03H9/19;H03H9/02
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種振動元件，其特征在于，該振動元件包含：

基板，其包含第1區(qū)域和第2區(qū)域，該第1區(qū)域包含以厚度剪切振動進行振動的振動區(qū)域，該第2區(qū)域與所述第1區(qū)域的外緣中的除了一部分外緣以外的外緣一體化，且厚度比所述第1區(qū)域厚；

一對激勵電極，它們分別設在所述振動區(qū)域的互為正反關系的第1主面和第2主面；以及

梁部，在從沿著所述主面且與所述厚度剪切振動的振動方向垂直的方向觀察所述一部分的外緣時，所述梁部沿著所述一部分外緣中的、與所述振動區(qū)域的被所述一對激勵電極夾著的部分中的靠近所述一部分外緣的部分不重合的外緣進行設置，且厚度大于所述第1區(qū)域。

2.根據(jù)權利要求1所述的振動元件，其特征在于，

在設所述梁部的沿著所述振動方向的長度為L1、設所述振動部的厚度為D₂時，

滿足10×D₂≤L1≤15×D₂的關系。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的振動元件，其特征在于，

在設所述梁部的沿著與所述振動方向垂直的方向的寬度為W1、設所述振動部的厚度為D₂時，

滿足3×D₂≤W1≤10×D₂的關系。

4.根據(jù)權利要求1或2所述的振動元件，其特征在于，

所述第1區(qū)域的輪廓包含：

第1邊和第2邊，它們在平面視圖中將所述第1區(qū)域夾在彼此之間而排列，沿著與所述振動方向垂直的方向；

第3邊，其將所述第1邊的一端與所述第2邊的一端連接起來，沿著所述振動方向；以及

第4邊，其將所述第1邊的另一端與所述第2邊的另一端連接起來，沿著所述振動方向，

所述第2區(qū)域包含：

沿著所述第1邊設置的第1厚壁部；

沿著所述第2邊設置的第2厚壁部；以及

沿著所述第3邊設置的第3厚壁部，

所述梁部沿著所述第4邊設置，且與所述第1厚壁部以及所述第2厚壁部中的至少一方連接。

5.根據(jù)權利要求1或2所述的振動元件，其特征在于，

所述梁部的緣部包含傾斜緣部，該傾斜緣部在平面視圖中相對于所述厚度剪切振動的振動方向以及與所述振動方向垂直的方向傾斜。

6.根據(jù)權利要求5所述的振動元件，其特征在于，

在平面視圖中，所述傾斜緣部相對于所述振動方向的傾斜角為30°以上且60°以下。

7.根據(jù)權利要求4所述的振動元件，其特征在于，

所述第1厚壁部配置有固定部，該固定部安裝于對象物，

所述第2厚壁部的沿著所述厚度剪切振動的振動方向的長度為40μm以上且100μm以下。

8.一種振子，其特征在于，該振子具有：

權利要求1或2所述的振動元件；以及

收納有所述振動元件的封裝。

9.一種振蕩器，其特征在于，該振蕩器具有：

權利要求1或2所述的振動元件；以及

驅(qū)動所述振動元件的電路。

10.一種電子設備，其特征在于，該電子設備具有權利要求1或2所述的振動元件。

11.一種移動體，其特征在于，該移動體具有權利要求1或2所述的振動元件。