[發明專利]基底分離裝置

有效

• 申請號: 201410076306.5
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN104149474B
• 公開（公告）日: 2018-01-02
• 發明（設計）人: 李承俊;李榮佑;金俊亨
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: B32B38/10
• 分類號: B32B38/10
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司11018
• 代理人: 李文穎,周艷玲

技術領域

本發明總地來說涉及基底分離裝置。

背景技術

最近，具有柔性的電子設備的重要性不斷增加。因此，需要各種技術來實現例如在柔性基底上的各種類型的顯示器，如有機發光顯示器（“OLED”）、電泳顯示器（“EPD”）、等離子顯示面板（“PDP”）、薄膜晶體管（“TFT”）、微處理器和隨機存取存儲器（“RAM”）。

為了在柔性基底上制造電子設備，已經提出將柔性基底附著到由硬質材料制成的載體基底上并形成電子設備的方法。在該方法中，分離載體基底和柔性基底的過程被執行。

然而，在分離載體基底和柔性基底的過程中，電子設備可能被損壞或破裂，載體基底和柔性基底可能由于分離過程中產生的靜電而無法順利分離，并且當外來物質由于靜電而附著到載體基底和柔性基底時可能會出現污染。

發明內容

發明的一個或多個示例性實施例提供可以穩定地分離第一基底和柔性的第二基底的基底分離裝置。

發明的一個或多個示例性實施例還提供在基底分離過程中通過控制靜電而可以最小化污染的基底分離裝置。

然而，發明的示例性實施例并不局限于本文中提出的實施例。通過參照下面給出的對發明的詳細描述，發明的上述和其它示例性實施例對于發明涉及的領域的普通技術人員將變得更明顯。

根據發明的示例性實施例，提供一種分離彼此接觸的第一基底和第二基底的裝置。該裝置包括固定第一基底并沿由彼此垂直相交的X軸和Y軸組成的XY坐標系中的正X軸方向傳送第一基底的上傳送部件以及被設置在上傳送部件下方并且其間具有間隙并固定和傳送第二基底的下傳送部件，其中下傳送部件包括在正X軸方向傳送第二基底的第一傳送部分以及在正X軸方向和負Y軸方向傳送第二基底的第二傳送部分。

附圖說明

通過參照附圖詳細描述本發明的示例性實施例，本發明的上述和其它示例性實施例和特征將變得更加明顯，附圖中：

圖1是根據發明的基底分離裝置的示例性實施例的示意性剖視圖；

圖2是示出圖1中所示的下傳送部件的示例性實施例的示意性結構的剖視圖；

圖3是示出圖1中所示的下傳送部件的示例性實施例的示意性結構的透視圖；

圖4是示出圖1中所示的第一傳送部分和第二傳送部分的示例性實施例的剖視圖；

圖5是示出圖1中所示的第一傳送部分和第二傳送部分的另一示例性實施例的剖視圖；

圖6是示出圖1中所示的第一傳送部分和第二傳送部分的另一示例性實施例的剖視圖；

圖7是示出圖1中所示的第一傳送部分和第二傳送部分的另一示例性實施例的剖視圖；

圖8是示出圖1中所示的第一傳送部分和第二傳送部分的另一示例性實施例的剖視圖；

圖9是示出圖1中所示的第一傳送部分和第二傳送部分的另一示例性實施例的剖視圖；

圖10是示出圖1中所示的第一傳送部分和第二傳送部分的另一示例性實施例的剖視圖；

圖11是示出圖1中所示的上傳送部件的示意性結構的透視圖；

圖12是示出圖1中所示的上固定單元的示例性實施例的示意性結構的剖視圖；

圖13是示出圖1中所示的上固定單元的示例性實施例的示意性結構的仰視圖；

圖14是示出圖1中所示的分離器的示例性實施例的示意性結構的剖視圖；

圖15是示出圖1中所示的分離器的示例性實施例的示意性結構的透視圖；

圖16是示出圖1中所示的分離器的另一示例性實施例的示意性結構的透視圖；

圖17是示出根據發明的示例性實施例的分離器的操作的透視圖；

圖18是示出根據發明的示例性實施例的上固定單元和分離器的操作的示意剖視圖；

圖19是示出根據發明的另一示例性實施例的上固定單元和分離器的操作的示意剖視圖；

圖20是示出根據發明的基底分離裝置中的根據發明的示例性實施例的輔助分離器和離子發生器的布置的示意性透視圖；和

圖21至圖23是分別示出根據發明的示例性實施例的基底分離方法的步驟和基底分離裝置的操作的剖視圖。

具體實施例