[發(fā)明專利]光學檢查設備和光學檢查系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410075590.4
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN104034508B
• 公開（公告）日: 2017-01-11
• 發(fā)明（設計）人: 西脅正行;春山弘司
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00;G01N21/958
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務所11038
• 代理人: 歐陽帆

技術領域

本發(fā)明涉及用于檢查光學掃描設備的光學系統(tǒng)的光學檢查設備和光學檢查系統(tǒng)。

背景技術

傳統(tǒng)地，已經(jīng)開發(fā)了在用于數(shù)字復印機或激光打印機等的光學掃描設備中檢查是否存在侵入光學系統(tǒng)中的灰塵、光學元件上的沾污（在下文中，被簡單稱為灰塵）的各種方法。已經(jīng)知道通過將從光學掃描設備發(fā)射的激光會聚到在像面上提供的可移動的縫隙板上來執(zhí)行檢查的一種方法。一個縫隙被布置為使得縫隙的開口的縱向方向與光學掃描方向垂直（參見日本專利申請公開No.2003-240675）。這個檢查方法基于通過縫隙的束斑的光量的變化測量該束斑的狀態(tài)，并且基于該狀態(tài)執(zhí)行對于光學掃描設備的光學系統(tǒng)上是否存在灰塵的檢查。

這個檢查方法將包括一個縫隙和一個檢測傳感器的光檢測單元在掃描方向上移動到需要檢查的像面上的位置，接收該位置處的激光，因此執(zhí)行檢查。然后將光檢測單元順序地移動到整個像面上的許多檢查位置，接收每個檢查位置處的激光以便執(zhí)行檢查，由此允許進行整個像面上的檢查。

然而，在日本專利申請公開No.2003-240675中描述的檢查光學掃描設備的方法中，要求光檢測單元被順序地移動到整個掃描范圍上的許多檢查位置。因此，該檢查要求較長時間。

本發(fā)明的一個目的是，提供可以減少用于檢查光學掃描設備的光學系統(tǒng)的檢查時間的光學檢查設備和光學檢查系統(tǒng)。

發(fā)明內容

本發(fā)明是一種光學檢查設備，通過測量從光學掃描設備發(fā)射的掃描光的光量來檢查光學掃描設備的光學系統(tǒng)，所述光學檢查設備包括：縫隙板，具有多個縫隙；擴散器，擴散已經(jīng)通過縫隙的掃描光；光導，引導由擴散器擴散的掃描光；光學傳感器，測量由光導引導的掃描光的光量；以及檢查裝置，通過將光學傳感器獲取的測量結果與預設參考值進行比較來檢查光學系統(tǒng)的狀態(tài)，其中在執(zhí)行利用掃描光的在縫隙板上的掃描的方向上在包括從光學掃描設備發(fā)射的掃描光的掃描范圍中的掃描有效部的范圍中間隔地布置縫隙。

本發(fā)明的一種光學檢查系統(tǒng)包括：光學掃描設備，包括光源、以及使從光源發(fā)射的光偏轉和反射作為朝向縫隙板的掃描光的旋轉多面反射鏡；以及所述光學檢查設備。

從以下參考附圖的示例性實施例的描述中本發(fā)明更多的特征將變得清晰。

附圖說明

圖1A和圖1B是示出根據(jù)本發(fā)明第一實施例的光學檢查設備的示意性配置的圖。圖1A是平面圖。圖1B是示出掃描有效部的圖。

圖2是示出根據(jù)本發(fā)明第一實施例的光學檢查設備的光檢測器的透視圖。

圖3A和圖3B示出根據(jù)本發(fā)明第一實施例的光學檢查設備的光檢測器。圖3A是平面圖。圖3B是截面圖。

圖4A、圖4B和圖4C是示出在縫隙的節(jié)距P大于光斑直徑D的情況下的在不同縫隙寬度W的情況下的光斑光量、透過光量以及差別的曲線圖。圖4A示出W/D=0.1的情況。圖4B示出W/D=0.5的情況。圖4C示出W/D=0.9的情況。

圖5是示出在根據(jù)本發(fā)明第一實施例的光學檢查設備的光檢測器中在縫隙的節(jié)距P大于光斑直徑D的情況下縫隙寬度比W/D和靈敏度之間的關系的曲線圖。

圖6A、圖6B和圖6C是示出在縫隙的節(jié)距P等于光斑直徑D的情況下的在不同縫隙寬度W的情況下的光斑光量、透過光量以及差別的曲線圖。圖6A示出W/D=0.1的情況。圖6B示出W/D=0.5的情況。圖6C示出W/D=0.9的情況。

圖7A和圖7B是示出在縫隙寬度比W/D和靈敏度之間的關系的曲線圖。圖7A示出節(jié)距P等于光斑直徑D的情況。圖7B示出節(jié)距P等于光斑直徑D的1/2的情況。

圖8A、圖8B、圖8C和圖8D示出根據(jù)第一實施例的光學檢查設備的光檢測器的變化示例。圖8A示出光導彎曲的情況。圖8B示出光導具有基本上梯形形狀的情況。圖8C示出光導是束式光纖（bundle?fibers）的情況。圖8D示出束式光纖插入縫隙板和擴散器（diffuser）之間的情況。

圖9是示出本發(fā)明第二實施例的光學檢查系統(tǒng)的示意性配置的圖。

具體實施方式

現(xiàn)在將根據(jù)附圖詳細描述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。

[第一實施例]