[發明專利]光學檢查設備和光學檢查系統

有效

• 申請號: 201410075590.4
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN104034508B
• 公開（公告）日: 2017-01-11
• 發明（設計）人: 西脅正行;春山弘司
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00;G01N21/958
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038
• 代理人: 歐陽帆

1.一種光學檢查設備，通過測量從光學掃描設備發射的掃描光的光量來檢查光學掃描設備的光學系統，所述光學檢查設備包括：

縫隙板，具有多個縫隙；

擴散器，擴散已經通過縫隙的掃描光；

光導，引導由擴散器擴散的掃描光；

光學傳感器，測量由光導引導的掃描光的光量；以及

檢查裝置，通過將光學傳感器獲取的測量結果與預設參考值進行比較來檢查光學系統的狀態，

其中在執行利用掃描光的在縫隙板上的掃描的方向上在包括從光學掃描設備發射的掃描光的掃描范圍中的掃描有效部的范圍中間隔地布置縫隙。

2.根據權利要求1所述的光學檢查設備，其中縫隙對于每個檢查單位被布置，并且檢查單位的長度是縫隙板上的掃描光的光斑直徑的長度。

3.根據權利要求1所述的光學檢查設備，其中光導具有棒狀形狀，縫隙板被布置在光導一側，并且光學傳感器被提供在光導的至少一個端面上。

4.根據權利要求1到3中任何一個所述的光學檢查設備，

其中布置縫隙的節距是P，縫隙上的掃描方向上的開口寬度是W，縫隙板上的掃描光的光斑直徑是D，并且滿足如下關系：

在P>D的情況下0.3<W/D<0.7，以及

在P≤D的情況下0.3<W/P<0.7。

5.一種光學檢查系統，包括：

光學掃描設備，包括光源、以及使從光源發射的光偏轉和反射作為朝向縫隙板的掃描光的旋轉多面反射鏡；以及

根據權利要求1所述的光學檢查設備。

6.根據權利要求5所述的光學檢查系統，其中使由旋轉多面反射鏡偏轉和反射的掃描光在縫隙板上成像的光學組件被提供在旋轉多面反射鏡和縫隙板之間，并且所述光學組件由光學檢查設備檢查。

7.一種制造光學掃描設備的方法，包括：

制備根據權利要求1所述的光學檢查設備以及光學掃描設備；

使用光學檢查設備檢查光學掃描設備；以及

基于檢查結果調節光學掃描設備。