[發明專利]掩膜版、有機層加工方法、顯示基板制備方法

有效

• 申請號: 201410074933.5
• 申請日: 2014-03-03
• 公開（公告）號: CN103882374A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 趙德江;張家奇
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 柴亮;張天舒

1.一種掩膜版，分為透光區和遮光區，所述透光區與待去除的有機層區域對應，其特征在于，

所述透光區處設有光熱轉換材料，用于將光能轉換為熱能；

所述遮光區處設有阻光層，用于阻擋光透過。

2.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，

所述光熱轉換材料為吲哚菁綠、聚苯胺、碳納米材料、貴金屬納米材料中的任意一種。

3.根據權利要求2所述的掩膜版，其特征在于，

所述碳納米材料為碳納米管、石墨烯、還原性石墨烯中的任意一種；

所述貴金屬納米材料為納米金或納米鈀。

4.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，

所述光熱轉換材料的厚度在30nm至600nm之間。

5.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，

所述光熱轉換材料上還設有導熱結構，用于傳導由光熱轉換材料產生的熱量。

6.根據權利要求5所述的掩膜版，其特征在于，

所述導熱結構的材料為鈦、金、鉑中的任意一種。

7.根據權利要求5所述的掩膜版，其特征在于，

所述導熱結構的厚度在20-1000nm之間。

8.根據權利要求1至7中任意一項所述的掩膜版，其特征在于，

所述阻光層的材料為黑色光阻材料。

9.根據權利要求1至7中任意一項所述的掩膜版，其特征在于，還包括：

透明基底，所述光熱轉換材料、阻光層均設于所述透明基底上。

10.根據權利要求1至7中任意一項所述的掩膜版，其特征在于，

所述掩膜版為圓筒狀；

所述光熱轉換材料位于所述圓筒狀掩膜版的外側。

11.根據權利要求1至7中任意一項所述的掩膜版，其特征在于，還包括：

位于所述遮光區中，并連接到所述透光區的導氣槽。

12.一種有機層加工方法，其特征在于，包括：

使權利要求1至11中任意一項所述的掩膜版具有光熱轉換材料的一側與有機層接觸；

用激光照射所述掩膜版，使光熱轉換材料升溫，利用光熱轉換材料產生的熱能將對應透光區的有機層蒸發去除。

13.根據權利要求12所述的有機層加工方法，其特征在于，

所述光熱轉換材料上還設有導熱結構，所述導熱結構與有機層接觸。

14.根據權利要求12或13所述的有機層加工方法，其特征在于，

所述激光照射中使用的激光波長在300-2000nm之間，能量密度在1-20J/cm²之間，照射時間小于300秒。

15.一種有機發光二極管顯示基板制備方法，其特征在于，包括：

在基板基底上形成輔助電極；

形成發光層；

使權利要求1至11中任意一項所述的掩膜版具有光熱轉換材料的一側與發光層接觸；

用激光照射所述掩膜版，使光熱轉換材料升溫，利用光熱轉換材料產生的熱能將對應透光區的發光層蒸發去除，從而在發光層中形成輔助過孔，所述輔助過孔通到所述輔助電極上表面；

形成陰極，所述陰極通過輔助過孔與輔助電極連接。

16.根據權利要求15所述的有機發光二極管顯示基板制備方法，其特征在于，

所述光熱轉換材料上還設有導熱結構，所述導熱結構與有機層接觸。

17.根據權利要求15或16所述的有機發光二極管顯示基板制備方法，其特征在于，

所述有機發光二極管顯示基板為頂發射式有機發光二極管顯示基板。