[發明專利]有機層沉積設備和用其制造有機發光顯示設備的方法

有效

• 申請號: 201410074527.9
• 申請日: 2014-03-03
• 公開（公告）號: CN104167511B
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 李秀奐;成沄澈;金茂顯;李東規
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司11204
• 代理人: 余朦,楊莘

相關領域的交叉引用

本申請要求于2013年5月16日提交至韓國知識產權局的第10-2013-0056039號韓國專利申請的優先權和權益，該專利申請的公開通過引用整體并入本文。

技術領域

本發明的多個方面主要涉及有機發光顯示器。更具體地，本發明的多個方面涉及有機層沉積設備和使用該有機層沉積設備制造有機發光顯示設備的方法。

背景技術

與許多其他顯示設備相比，有機發光顯示設備具有更寬的視角、更好的對比度特性、以及更快的響應速度，因此作為下一代顯示設備而倍受關注。

有機發光顯示設備包括設置在第一電極和第二電極之間的中間層（包括發光層）。這些電極和中間層可以使用各種方法形成，其中之一是獨立沉積方法。當使用這種沉積方法制造有機發光顯示設備時，具有與待形成的有機層的圖案相同的圖案的精細金屬掩模（FMM）被設置為緊貼在上面形成有機層等的襯底，并且有機層材料被沉積在FMM上以形成具有期望圖案的有機層。

然而，使用這種FMM的沉積方法在制造使用較大母玻璃的較大有機發光顯示設備時存在困難。例如，當使用這種大掩模時，該掩模可能在其自身重量下彎曲，從而使所產生的圖案扭曲。

此外，對準襯底和FMM以使它們彼此緊貼、在上面進行沉積、以及使FMM從襯底分離的過程是耗時的，從而導致較長的制造時間和較低的生產效率。

背景技術部分所公開的信息是本發明的發明人在實現本發明之前已知的或在實現本發明的過程中所獲得的技術信息。因此，其可能包含現有技術中沒有的信息。

發明內容

本發明的方面針對更易于制造且適用于在襯底上實現高清晰度圖案時大量生產大型襯底的有機層沉積設備。使用這種設備制造有機發光顯示裝置的方法也是可以預期的。

根據本發明的實施方式，提供了一種有機層沉積設備，包括：輸送系統，包括移動單元、第一輸送單元以及第二輸送單元，移動單元被配置為聯接有襯底并與襯底一起移動，第一輸送單元用于在襯底被聯接至移動單元時使移動單元在第一方向上移動，第二輸送單元用于在沉積完成之后在襯底與移動單元分離時使移動單元在與第一方向相反的第二方向上移動；以及沉積單元，包括至少一個有機層沉積組件，至少一個有機層沉積組件用于在襯底被聯接至移動單元時在襯底上沉積有機層，其中至少一個有機層沉積組件中的每一個均包括：至少一個沉積源，用于排放沉積材料；沉積源噴嘴單元，設置在至少一個沉積源的一側，其中沉積源噴嘴單元中形成有至少一個沉積源噴嘴；構圖狹縫片，被設置為面對沉積源噴嘴單元并包括沿著預定方向延伸的多個構圖狹縫；遮蔽構件，設置在襯底與至少一個沉積源之間并被配置為阻擋從至少一個沉積源蒸發的沉積材料；以及絲網構件，設置在遮蔽構件的一側并被配置為防止沉積材料從遮蔽構件滴落，其中移動單元被配置為在第一輸送單元與第二輸送單元之間循環移動，以及其中，當聯接至移動單元時，襯底在被第一輸送單元轉移的同時與有機層沉積組件間隔預定距離。

遮蔽構件能夠可操作地移動以防止沉積材料沉積在襯底上。

遮蔽構件可被配置為在至少一個沉積源與構圖狹縫片之間移動。

絲網構件可聯接至遮蔽構件以與遮蔽構件一起移動。

遮蔽構件可設置在沉積源的一側并被定位和成形為朝著襯底引導從至少一個沉積源蒸發的沉積材料。

遮蔽構件可被成形為至少部分地圍繞沉積源。

絲網構件可聯接至遮蔽構件并且絲網構件和遮蔽構件被定位為靠近沉積源的一側。

至少一個有機層沉積組件中的每一個均可包括：多個沉積源；以及多個遮蔽構件，可移動地定位在多個沉積源中的相應沉積源與構圖狹縫片之間。

多個遮蔽構件能夠被定位為防止沉積材料沉積在襯底上。

遮蔽構件可被成形和定位為覆蓋襯底的邊界區域。

遮蔽構件可被配置為在覆蓋襯底的邊界區域時與襯底一起移動。

構圖狹縫片的狹縫可被成形和定位以使從至少一個沉積源排放的沉積材料以預定圖案沉積在襯底上。

構圖狹縫片可在所述第一方向和與所述第一方向不同的第三方向中的至少一個上具有比襯底更小的尺寸。

第一輸送單元和第二輸送單元可被配置為經過沉積單元。

第一輸送單元可被設置為平行于第二輸送單元。