[發明專利]有機層沉積設備和用其制造有機發光顯示設備的方法

有效

• 申請號: 201410074527.9
• 申請日: 2014-03-03
• 公開（公告）號: CN104167511B
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 李秀奐;成沄澈;金茂顯;李東規
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司11204
• 代理人: 余朦,楊莘

1.有機層沉積設備，包括：

輸送系統，包括移動單元、第一輸送單元以及第二輸送單元，所述移動單元被配置為聯接有襯底并與所述襯底一起移動，第一輸送單元用于在所述襯底被聯接至所述移動單元時使所述移動單元在第一方向上移動，所述第二輸送單元用于在沉積完成之后在所述襯底與所述移動單元分離時使所述移動單元在與所述第一方向相反的第二方向上移動；以及

沉積單元，包括至少一個有機層沉積組件，所述至少一個有機層沉積組件用于在所述襯底被聯接至所述移動單元時在所述襯底上沉積有機層，

其中所述至少一個有機層沉積組件中的每一個均包括：

至少一個沉積源，用于排放沉積材料；

沉積源噴嘴單元，設置在所述至少一個沉積源的一側，其中所述沉積源噴嘴單元中形成有至少一個沉積源噴嘴；

構圖狹縫片，被設置為面對所述沉積源噴嘴單元并包括沿著預定方向延伸的多個構圖狹縫；

遮蔽構件，設置在所述襯底與所述至少一個沉積源之間并被配置為阻擋從所述至少一個沉積源蒸發的所述沉積材料；以及

絲網構件，設置在所述遮蔽構件的一側并被配置為防止所述沉積材料從所述遮蔽構件滴落，

其中所述移動單元被配置為在所述第一輸送單元與所述第二輸送單元之間循環移動，以及

其中，當聯接至所述移動單元時，所述襯底在被所述第一輸送單元轉移時與所述有機層沉積組件間隔預定距離，以及

其中，所述絲網構件設置在所述遮蔽構件的面對所述沉積源的一側。

2.如權利要求1所述的有機層沉積設備，其中所述遮蔽構件能夠可操作地移動以防止所述沉積材料沉積在所述襯底上。

3.如權利要求2所述的有機層沉積設備，其中所述遮蔽構件被配置為在所述至少一個沉積源與所述構圖狹縫片之間移動。

4.如權利要求2所述的有機層沉積設備，其中所述絲網構件聯接至所述遮蔽構件以與所述遮蔽構件一起移動。

5.如權利要求1所述的有機層沉積設備，其中所述遮蔽構件設置在所述沉積源的一側并被定位和成形為朝著所述襯底引導從所述至少一個沉積源蒸發的所述沉積材料。

6.如權利要求5所述的有機層沉積設備，其中所述遮蔽構件被成形為至少部分地圍繞所述沉積源。

7.如權利要求5所述的有機層沉積設備，其中所述絲網構件聯接至所述遮蔽構件并且所述絲網構件和所述遮蔽構件被定位為靠近所述沉積源的一側。

8.如權利要求1所述的有機層沉積設備，其中所述至少一個有機層沉積組件中的每一個均包括：

多個沉積源；以及

多個遮蔽構件，可移動地定位在所述多個沉積源中的相應沉積源與所述構圖狹縫片之間。

9.如權利要求8所述的有機層沉積設備，其中所述多個遮蔽構件能夠被定位為防止所述沉積材料沉積在所述襯底上。

10.如權利要求1所述的有機層沉積設備，其中所述遮蔽構件被成形和定位為覆蓋所述襯底的邊界區域。

11.如權利要求10所述的有機層沉積設備，其中所述遮蔽構件被配置為在覆蓋所述襯底的所述邊界區域時與所述襯底一起移動。

12.如權利要求1所述的有機層沉積設備，其中所述構圖狹縫片的狹縫被成形和定位以使從所述至少一個沉積源排放的所述沉積材料以預定圖案沉積在所述襯底上。

13.如權利要求1所述的有機層沉積設備，其中所述構圖狹縫片在所述第一方向和與所述第一方向不同的第三方向中的至少一個上具有比所述襯底更小的尺寸。

14.如權利要求1所述的有機層沉積設備，其中所述第一輸送單元和所述第二輸送單元被配置為經過所述沉積單元。

15.如權利要求1所述的有機層沉積設備，其中所述第一輸送單元被設置為平行于所述第二輸送單元。