[發(fā)明專利]磁浮平面電機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410073754.X
• 申請(qǐng)日: 2014-03-03
• 公開（公告）號(hào): CN104901586B
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段素丙;陳慶生;季漢川;池峰;劉小虎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): H02N15/00
• 分類號(hào): H02N15/00;G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時(shí)云

1.一種磁浮平面電機(jī)，包括多層線圈陣列，其特征在于，還包括磁鋼陣列；所述磁鋼陣列，包括若干個(gè)磁鋼單元，所述磁鋼單元沿第一方向和第二方向按照海爾貝克陣列模式進(jìn)行周期性排布組成；所述磁鋼單元包括方形第一磁鋼和圍繞第一磁鋼的四個(gè)方形第二磁鋼，所述第一磁鋼是N磁鐵或S磁鐵，所述第二磁鋼極性與第一磁鋼相反，所述第一磁鋼和/或第二磁鋼的四邊通過設(shè)置有倒角的長方體形狀的第三磁鋼無縫隙連接，所述第三磁鋼的磁化方向是指向N磁鐵或者背離S磁鐵；所述線圈陣列位于所述磁鋼陣列之上或之下，所述線圈陣列相對(duì)于所述磁鋼陣列運(yùn)動(dòng)，所述多層線圈陣列的層數(shù)至少為2層，且能相對(duì)于所述磁鋼陣列進(jìn)行六自由度運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述多層線圈陣列相對(duì)于所述磁鋼陣列成45度角交叉設(shè)置。

3.如權(quán)利要求1所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述多層線圈陣列包括第一層線圈陣列及第二層線圈陣列。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述第一層線圈陣列與第二層線圈陣列貼合在一起。

5.如權(quán)利要求3所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述第一層線圈陣列與第二層線圈陣列分別包括四個(gè)線圈組，所述第一層線圈陣列的四個(gè)線圈組沿第一軸方向分布，所述第二層線圈陣列的四個(gè)線圈組沿第二軸方向分布，所述第一軸與第二軸交叉設(shè)置。

6.如權(quán)利要求5所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述第一層線圈陣列與第二層線圈陣列中的四個(gè)線圈組分別處于四個(gè)象限中，每一象限的第一、第二線圈陣列的線圈組分布方向呈交叉設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述第一層線圈陣 列與第二層線圈陣列分別包括四個(gè)線圈組；所述第一層線圈陣列的兩個(gè)線圈組沿第一軸方向分布，另外兩個(gè)線圈組沿第二軸方向分布；所述第二層線圈陣列的兩個(gè)線圈組沿第一軸方向分布，另外兩個(gè)線圈組沿第二軸方向分布，所述第一軸與第二軸交叉設(shè)置。

8.如權(quán)利要求7所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述第一層線圈陣列與第二層線圈陣列中的四個(gè)線圈組分別處于四個(gè)象限中，其中，一、三象限的第一、第二線圈陣列的線圈組分布方向呈交叉設(shè)置，二、四象限的第一、第二線圈陣列的線圈組分布方向平行。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述第一層線圈陣列包括四個(gè)線圈組，第二線圈陣列包括兩個(gè)線圈組，所述第一層線圈陣列的四個(gè)線圈組沿第一軸方向分布，所述第二層線圈陣列的兩個(gè)線圈組沿第二軸方向分布，所述第一軸與第二軸交叉設(shè)置。

10.如權(quán)利要求5、7或9所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述第一軸與第二軸呈90度交叉設(shè)置。

11.如權(quán)利要求5、7或9所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述線圈組包括n個(gè)子線圈組，每個(gè)子線圈組包括三個(gè)線圈，n個(gè)子線圈串聯(lián)或并聯(lián)，其中，n≥1，n為整數(shù)。

12.如權(quán)利要求11所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，每個(gè)子線圈組的接線方式為：每個(gè)線圈有兩個(gè)出線端，三個(gè)線圈的一個(gè)出線端接三相電流，另一個(gè)出線端相互短接，作為三相電流的Y形連接點(diǎn)。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述線圈是由多層導(dǎo)線串接而成，且所有層導(dǎo)線的繞線方向均相同。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的磁浮平面電機(jī)，其特征在于，所述線圈分為導(dǎo)體部分和非導(dǎo)體部分；導(dǎo)體部分的材料是銅，非導(dǎo)體部分的材料是玻纖環(huán)氧樹脂。

15.一種磁浮平面電機(jī)，包括磁鋼陣列，其特征在于，還包括多層線圈陣 列，所述線圈陣列位于所述磁鋼陣列之上或之下，所述線圈陣列相對(duì)于所述磁鋼陣列運(yùn)動(dòng)，所述多層線圈陣列的層數(shù)至少為2層，且能相對(duì)于所述磁鋼陣列進(jìn)行六自由度運(yùn)動(dòng)；所述磁鋼陣列，包括若干個(gè)磁鋼單元，所述磁鋼單元沿第一方向和第二方向按照海爾貝克陣列模式進(jìn)行周期性排布組成；所述磁鋼單元，包括方形第一磁鋼和圍繞第一磁鋼的四個(gè)方形第二磁鋼，所述第一磁鋼是N磁鐵或S磁鐵，所述第二磁鋼極性與第一磁鋼相反，所述第一磁鋼和/或第二磁鋼的四邊通過設(shè)置有倒角的長方體形狀的第三磁鋼無縫隙連接，所述第三磁鋼的磁化方向是指向N磁鐵或者背離S磁鐵。