[發(fā)明專(zhuān)利]一種蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410073485.7
• 申請(qǐng)日: 2014-02-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103834921A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王釗;林信志;張斌;倪蔚德
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海和輝光電有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 吳俊

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝包括沉積速率、真空度、基底溫度等多種工藝控制方式，其中沉積速率控制主要決定了光學(xué)薄膜的聚集密度和厚度均勻性，對(duì)膜厚的控制也有直接的影響，不同的沉積速率可使薄膜的光譜性能和機(jī)械性能產(chǎn)生顯著的差異。真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)主要以調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流或者電子束電流來(lái)控制材料的蒸發(fā)速率，通過(guò)擋板的旋轉(zhuǎn)來(lái)控制鍍膜過(guò)程的開(kāi)始和結(jié)束。

現(xiàn)行大部分的蒸發(fā)源擋板都是直接采用金屬擋板稍微加工后便投入使用，這樣的擋板存在以下幾個(gè)技術(shù)缺點(diǎn)：

1、對(duì)材料的阻擋效果不明顯，容易造成材料的交叉污染。如果金屬擋板的面積過(guò)小，或者當(dāng)材料蒸發(fā)速率比較大的情況，金屬擋板對(duì)材料的吸附效率不好就會(huì)造成材料交叉污染；

2、吸附的材料容易脫落，造成坩堝堵孔。由于材料沉積到擋板上面的均與性是不一樣的，這就會(huì)導(dǎo)致沉積到擋板上面的材料的內(nèi)應(yīng)力不均衡，重量不均衡，就會(huì)很容易導(dǎo)致材料脫落；

3、普通的蓋式擋板，容易在邊沿處形成材料的堆積導(dǎo)致材料的溢出。由于試驗(yàn)線(xiàn)腔體較小，一般設(shè)計(jì)的蓋式擋板面積都比較小，而且又不能保證蒸發(fā)源處于擋板正中間位置，這樣就會(huì)導(dǎo)致材料在邊沿處堆積，導(dǎo)致材料脫落或者材料溢出甚至有堵孔現(xiàn)象發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的目的是提供一種蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的目的是通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)，其中，包括若干個(gè)相互鄰接但是不接觸的金屬擋板；

所述金屬擋板包括弧形遮擋面，所述遮擋面背向所述蒸發(fā)源的一面為凸面，所述遮擋面朝向所述蒸發(fā)源的一面為凹面，并且相鄰兩個(gè)所述金屬擋板的遮擋面的弧面角度一致；

所述遮擋面的兩端分別向所述蒸發(fā)源的方向折彎后形成兩條相同長(zhǎng)度的下邊沿，所述下邊沿與所述遮擋面之間形成內(nèi)凹口。

上述蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)，其中，兩條所述下邊沿相互平行。

上述蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)，其中，相鄰兩個(gè)所述金屬擋板的下邊沿長(zhǎng)度不一致。

上述蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)，其中，設(shè)相鄰兩個(gè)所述金屬擋板的下邊沿長(zhǎng)度分別為a和b且a＞b，所述遮擋面的弧面角度均為K，所述內(nèi)凹口的高度為c，則相鄰兩個(gè)所述金屬擋板的重疊距離L滿(mǎn)足以下公式：

L=（a-b-c）/tanK。

上述蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)，其中，兩條所述下邊沿分別向內(nèi)傾斜或向外傾斜。

上述蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)，其中，所述遮擋面內(nèi)部鋪設(shè)有冷卻水管，所述冷卻水管與外部冷水源連通。

上述蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)，其中，所述遮擋面的凹面上還具有若干內(nèi)凹面，以增加所述凹面的表面積。

上述蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)，其中，所述遮擋面的凹面表面粗糙。

上述蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)，其中，所述金屬檔板的內(nèi)凹口與所述下邊沿的交界處設(shè)計(jì)有倒角。

與已有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果在于：

1）遮擋面的兩端設(shè)計(jì)成內(nèi)凹口的樣式，可以避免邊沿設(shè)計(jì)成直角樣式材料大量堆積在邊沿的情況，并且可以通過(guò)稍微更改金屬擋板的高度與邊沿高度的比例來(lái)降低兩個(gè)相鄰金屬擋板互相碰撞的危險(xiǎn)；

2）在金屬擋板的材料里面鋪設(shè)冷卻水管，可以使得金屬擋板表面保持在一個(gè)較低的溫度，增加材料在金屬擋板表面的附著率，大大降低材料交叉污染的風(fēng)險(xiǎn)；

3）增加金屬擋板遮擋面的彎曲度和凹面的粗糙度，以增加材料附著面積和材料附著力道，避免材料出現(xiàn)脫落；

4）金屬擋板的遮擋面的背向蒸發(fā)源的一面設(shè)計(jì)成凸面，以防止蒸鍍速率很大時(shí)出現(xiàn)材料急速堆積而導(dǎo)致材料脫落和堵孔的情況發(fā)生。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本發(fā)明的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1是本發(fā)明蒸發(fā)源擋板結(jié)構(gòu)優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本發(fā)明中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。