[發明專利]一種保護膜的真空鍍膜方法

有效

• 申請號: 201410071761.6
• 申請日: 2014-02-28
• 公開（公告）號: CN103774143A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 黃偉雄
• 申請（專利權）人: 東莞星暉真空鍍膜塑膠制品有限公司
• 主分類號: C23C28/00
• 分類號: C23C28/00;C23C16/44;C23C14/26
• 代理公司: 東莞市華南專利商標事務所有限公司 44215
• 代理人: 卞華欣

1.一種保護膜的真空鍍膜方法，其特征在于：包括以下制備步驟：

步驟1：抽真空：將待鍍膜產品置于真空室，然后抽真空至5*10^-3?Pa?-?6*10^-2Pa，同時加熱至95-120℃，使容器的上層形成水蒸氣；

步驟2：鍍金屬膜：利用蒸發式鍍金屬膜的工藝鍍金屬膜；

步驟3：鍍完金屬膜之后通空氣：關閉擴散泵，打開分子柵，通過流量計向真空室充入空氣，并穩定真空度在0-20Pa保持0.2-1分鐘；

步驟4：清潔金屬膜表面：啟動離子轟擊電源，調節轟擊電流穩定在1-8A，持續時間1-3分鐘，然后關閉；

步驟5：然后鍍保護膜：充入有機硅的液體蒸汽，并保持氣壓不變0.2-1分鐘，再次啟動離子轟擊電源，調節轟擊電流穩定在1-8A，然后保持3-8分鐘，使有機硅在金屬膜上逐層生長形成保護膜。

2.根據權利要求1所述的一種保護膜的真空鍍膜方法，其特征在于：所述有機硅包括96-99%的六甲基二硅氧烷和1-4%的丙烷類溶劑。

3.根據權利要求2所述的一種保護膜的真空鍍膜方法，其特征在于：所述有機硅包括99%的六甲基二硅氧烷和1%的丙烷類溶劑。

4.根據權利要求1所述的一種保護膜的真空鍍膜方法，其特征在于：所述步驟1的抽真空為三級抽真空，第一級利用滑閥式真空泵抽真空至1000Pa，第二級利用羅茨泵抽真空至1-3Pa，第三級利用擴散泵抽真空至6*10^-2?Pa?-?5*10^-3Pa。

5.根據權利要求1所述的一種保護膜的真空鍍膜方法，其特征在于：所述金屬膜的金屬材料為鋁、銀、鉻、錫、銦、銦錫合金中的任一種。

6.根據權利要求1所述的一種保護膜的真空鍍膜方法，其特征在于：所述步驟2中的金屬膜材料為鋁，鍍鋁膜前，將真空室的各個獨立轉軸開始同步旋轉，第一步預熱至80-120℃保持30-50秒，第二步是預熔，溫度升至250-300℃保持10-25秒，讓鋁絲達到熔融的狀態；第三步，蒸發3-8秒，進一步提高鎢絲的電壓，增大鎢絲電流至溫度達700℃以上，使鎢絲成熾熱狀態，上面的液體鋁變為氣態分子蒸發到旋轉中的產品的各個表面，形成一層鋁膜，厚度10-35nm。

7.根據權利要求1所述的一種保護膜的真空鍍膜方法，其特征在于：所述步驟2中的金屬膜材料為鋁，鍍鋁膜前，將真空室的各個獨立轉軸開始同步旋轉，第一步預熱至90-110℃保持30-50秒，第二步是預熔，溫度升至280-290℃保持10-25秒，讓鋁絲達到熔融的狀態；第三步，蒸發3-8秒，進一步提高鎢絲的電壓，增大鎢絲電流至溫度達700℃以上，使鎢絲成熾熱狀態，上面的液體鋁變為氣態分子蒸發到旋轉中的產品的各個表面，形成一層鋁膜，厚度10-25nm。

8.根據權利要求1所述的一種保護膜的真空鍍膜方法，其特征在于：所述步驟5中的保護膜的厚度為10-30nm。

9.根據權利要求1所述的一種保護膜的真空鍍膜方法，其特征在于：所述步驟1中的真空室為立式雙門真空室。