[發(fā)明專利]一種大外徑變形鏡主鏡的加工方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410065348.9
• 申請日: 2014-02-26
• 公開（公告）號: CN103949952A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發(fā)明（設計）人: 范松如;王建軍
• 申請（專利權）人: 四川歐瑞特光電科技有限公司
• 主分類號: B24B13/00
• 分類號: B24B13/00
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產(chǎn)權代理有限公司 51214
• 代理人: 王美健;錢成岑

技術領域

本發(fā)明涉及變形鏡的加工技術領域，尤其是一種大外徑的變形鏡中主鏡的加工方法。

背景技術

現(xiàn)在對空間觀察的需求越來越多，而大氣的湍流影響到對外觀察的精度，其湍流對成像的影響造成成像波前誤差的增加，使得分辨率變低很多；同時，對人體內(nèi)部器官的觀察也遇到類似的問題，鑒于此種問題，國內(nèi)外對自適應光學系統(tǒng)進行了多方面的研究，而其中變形反射鏡加工的技術一直是研究的瓶頸，對于變形鏡的要求是：當外置多頻振動接收到外界湍流的反饋信號的時候，給出多頻振動信號，由此推動電磁振動器對固定在變形鏡的吸引力的改變，由于吸引模塊成線性矩陣排列，從而引起變形鏡面形的改變，進行變形鏡要根據(jù)這些信號實時改變表面的波前誤差，以抵消由于大氣湍流產(chǎn)生的誤差。這樣，對變形反射鏡的要求就比較苛刻，主要原因是變形反射鏡的外徑比較大（外徑大于200mm即為“大外徑”），另外其相對厚度比較?。ㄍ鈴脚c厚度的比大于10即為“薄”），造成加工難度極大。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的發(fā)明目的在于：針對上述存在的問題，主要解決外徑大厚度薄的變形反射鏡的主鏡片加工難度大的問題，提供一種大外徑變形鏡主鏡的加工方法，可適用于大尺寸相對厚度薄的變形鏡主鏡的加工，甚至可適用于尺寸與厚度比20以上、200以下的高精度平面反射鏡或者光學窗口的加工。

本發(fā)明采用的技術方案如下：

本發(fā)明的大外徑變形鏡主鏡的加工方法，包括以下步驟：

步驟一、將零膨脹光學玻璃ULE材料成型加工為外徑大于200mm的方形或者圓形零件，要求其厚度大于10mm，其中零件的外徑與厚度之比小于15；將該零件的其中一面設為第一面，另一面為第二面；

步驟二、對零件的第一面進行精磨及拋光，要求第一面完工后零件的外徑與厚度之比為18～20，同時在第一面上外徑為200mm的范圍內(nèi)，其面形為低1個光圈；再對零件的四周進行倒角；

步驟三、對整個零件采用全封蠟方式上盤，將零件粘接在玻璃墊板上，對零件的第二面進行環(huán)型精磨，使加工后的零件厚度比主鏡的要求厚度要厚0.15mm～0.25mm；再用丙酮或者溶蠟劑泡掉零件表面的封蠟，并清洗干凈；對第二面進行細沙研磨，確保第二面的面形為低圈。

步驟四、在第一面上涂一層光學保護漆，在磁性壓盤內(nèi)墊一層濕潤的棉布，將零件放入磁性壓盤的凹槽內(nèi)，確保零件的第一面與棉布之間相互吸引；將壓盤上的零件對準加工設備中的拋光磨具，并對第二面進行拋光；?

步驟五、在拋光之前，對加有氧化鈰的拋光液采用超聲波清洗機進行超聲波振動約20分鐘，拋光液和環(huán)境溫度均控制在22～25度；對第二面進行拋光的過程中，需采用大外徑干涉儀對面形進行在線控制；當拋光的面形達到低2個光圈后，再將零件換至專用拋光機上進行浸夜拋光，使拋光液完全淹沒整個零件，并對第二面進行修正，確保第二面的面形為低1個圈；

步驟六、將磁性壓盤連帶零件放入超聲波清洗槽內(nèi)，要求零件向上，且在零件周圍加設有保護措施；振動約10～20分鐘，使零件與磁性壓盤自動分開。