[發明專利]一種大外徑變形鏡主鏡的加工方法

有效

• 申請號: 201410065348.9
• 申請日: 2014-02-26
• 公開（公告）號: CN103949952A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 范松如;王建軍
• 申請（專利權）人: 四川歐瑞特光電科技有限公司
• 主分類號: B24B13/00
• 分類號: B24B13/00
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 王美健;錢成岑

1.一種大外徑變形鏡主鏡的加工方法，其特征在于：它包括以下步驟：

步驟一、將零膨脹光學玻璃ULE材料成型加工為外徑大于200mm的方形或者圓形零件，要求其厚度大于10mm，其中零件的外徑與厚度之比小于15；將該零件的其中一面設為第一面，另一面為第二面；

步驟二、對零件的第一面進行精磨及拋光，要求第一面完工后零件的外徑與厚度之比為18～20，同時在第一面上外徑為200mm的范圍內，其面形為低1個光圈；再對零件的四周進行倒角；

步驟三、對整個零件采用全封蠟方式上盤，將零件粘接在玻璃墊板上，對零件的第二面進行環型精磨，使加工后的零件厚度比主鏡的要求厚度要厚0.15mm～0.25mm；再用丙酮或者溶蠟劑泡掉零件表面的封蠟，并清洗干凈；對第二面進行細沙研磨，確保第二面的面形為低圈；

步驟四、在第一面上涂一層光學保護漆，在磁性壓盤內墊一層濕潤的棉布，將零件放入磁性壓盤的凹槽內，確保零件的第一面與棉布之間相互吸引；將壓盤上的零件對準加工設備中的拋光磨具，并對第二面進行拋光；?

步驟五、在拋光之前，對加有氧化鈰的拋光液采用超聲波清洗機進行超聲波振動約20分鐘，拋光液和環境溫度均控制在22～25度；對第二面進行拋光的過程中，需采用大外徑干涉儀對面形進行在線控制；當拋光的面形達到低2個光圈后，再將零件換至專用拋光機上進行浸夜拋光，使拋光液完全淹沒整個零件，并對第二面進行修正，確保第二面的面形為低1個圈；

步驟六、將磁性壓盤連帶零件放入超聲波清洗槽內，要求零件向上，且在零件周圍加設有保護措施；振動約10～20分鐘，使零件與磁性壓盤自動分開。

2.如權利要求1所述的大外徑變形鏡主鏡的加工方法，其特征在于：在步驟三中，在確保第二面的面形為低圈的過程中，采用簡易球徑儀測量，在第二面的任意Φ180范圍內，測得矢高誤差與標準平面鏡為小于0.005mm。