[發明專利]圖案形成裝置及圖案形成方法

有效

• 申請號: 201410060525.4
• 申請日: 2014-02-21
• 公開（公告）號: CN104007611B
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 川越理史;増市干雄;上野博之;上野美佳;谷口和隆;正司和大;芝藤彌生;田中哲夫;陶山武史
• 申請（專利權）人: 斯克林集團公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 臧建明

技術領域

本發明涉及一種對于以彼此的主面鄰近對向的方式保持的兩個物體進行位置對準的技術。

背景技術

存在如下所述的技術領域：將兩個物體以使它們的主面彼此鄰近對向的狀態且以規定的位置關系予以配置。例如作為在玻璃(galss)基板或半導體基板等基板形成圖案(pattern)的技術，例如有如專利文獻1中所記載般，使承載圖案的承載體密接于被轉印體(基板)而轉印圖案的技術。在這種轉印技術中，為了適當地管理向被轉印體的圖案轉印位置，轉印前的承載體與被轉印體的位置對準變得重要。作為這種用于兩個物體的位置對準的技術，例如有專利文獻2至專利文獻4中所記載的技術。

在這些技術中，在使分別預先形成著對準標記(alignment mark)的兩個物體(承載體及被轉印體)鄰近對向配置的狀態下，利用相機拍攝這些對準標記。然后，根據圖像內的對準標記的位置關系求出兩個物體間的相對的位置偏移量，使兩個物體相對移動以修正該位置偏移，由此，進行位置對準。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2010-158799號公報

[專利文獻2]日本專利特開2009-212489號公報

[專利文獻3]日本專利特開2006-172930號公報

[專利文獻4]日本專利特開2004-342642號公報

近年來，要求設備進一步薄型化及大型化，并且也要求圖案的高精細化。因此，對于基板等板狀體的位置對準也開始要求更高的精度。然而，就所述現有技術而言有時難以應對這種要求。例如為了基于拍攝結果實現高精度的位置對準，必須提高拍攝設備的分辨率，但這樣一來，拍攝范圍必然變狹窄。另一方面，為了將拍攝設備用于粗略的位置對準，需要更廣泛的拍攝范圍，但難以同時實現高分辨率及廣泛的拍攝范圍。而且，為了構成高分辨率且拍攝范圍廣泛的拍攝設備，成本提高。

而且，例如必須預先將承載體或被轉印體的位置校準到至少對準標記位于拍攝視場內的程度的位置。為了這一目的，通常進行預對準(prealignment)處理。作為這種相對粗略的位置對準，先前例如采用如下方法等：通過使承載體或被轉印體等物體碰撞設置在裝置內的適當位置的位置限制構件而進行布局；或在裝置外部將位置已預先對準的物體搬入到裝置內的規定位置。然而，近年來，由于要求圖案的細致化，所以對準標記的尺寸變小，而且，所要求的位置精度也變得微細。因此，在拍攝中使用高分辨率且高倍率的相機，由此導致拍攝視場變小。另一方面，所處理的物體也進一步大型化，由此導致物體的重量也增大而容易發生彎曲，因此，就機械性的位置限制而言，難以將承載體或被轉印體等定位在適當位置。

發明內容

本發明是鑒于所述課題而完成，其目的在于提供一種可使應鄰近對向的兩個物體、例如承載圖案的承載體及被轉印該圖案的被轉印體高精度地進行位置對準的對準技術及利用該對準技術的圖案形成技術。

為了達成所述目的，本發明的圖案形成裝置的第一實施方式包括：第一保持設備，保持由圖案承載面承載圖案的承載體；第二保持設備，以使被轉印面與所述承載體的所述圖案承載面對向的方式，保持包括被轉印所述圖案的所述被轉印面的被轉印體；第一移動設備，使所述第一保持設備與所述圖案承載面平行地移動；第二移動設備，使所述第二保持設備與所述被轉印面平行地移動；預對準(pre-alignment)設備，拍攝由所述第一保持設備保持的所述承載體的外緣的至少一部分，基于其拍攝結果使所述第一移動設備作動而將所述承載體定位在規定的第一目標位置，并且拍攝由所述第二保持設備保持的所述被轉印體的外緣的至少一部分，基于其拍攝結果使所述第二移動設備作動而將所述被轉印體定位在規定的第二目標位置；以及精密對準設備，拍攝形成在定位于所述第一目標位置的所述承載體的第一對準標記及形成在定位于所述第二目標位置的所述被轉印體的第二對準標記，基于其拍攝結果使所述第一保持設備及所述第二保持設備中的至少一者作動，對所述承載體與所述被轉印體進行位置對準。