[發明專利]圖案形成裝置及圖案形成方法

有效

• 申請號: 201410060525.4
• 申請日: 2014-02-21
• 公開（公告）號: CN104007611B
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 川越理史;増市干雄;上野博之;上野美佳;谷口和隆;正司和大;芝藤彌生;田中哲夫;陶山武史
• 申請（專利權）人: 斯克林集團公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 臧建明

1.一種圖案形成裝置，其特征在于，包括：

第一保持設備，保持由圖案承載面承載圖案的承載體；

第二保持設備，以使被轉印面與所述承載體的所述圖案承載面對向的方式，保持包括被轉印所述圖案的所述被轉印面的被轉印體；

推頂設備，推頂由所述第一保持設備保持的所述承載體；

第一移動設備，使所述第一保持設備與所述圖案承載面平行地移動；

第二移動設備，使所述第二保持設備與所述被轉印面平行地移動；

預對準設備，拍攝由所述第一保持設備保持的所述承載體的外緣的至少一部分，基于其拍攝結果使所述第一移動設備作動而將所述承載體定位在規定的第一目標位置，并且拍攝由所述第二保持設備保持的所述被轉印體的外緣的至少一部分，基于其拍攝結果使所述第二移動設備作動而將所述被轉印體定位在規定的第二目標位置；以及

精密對準設備，拍攝形成在定位于所述第一目標位置的所述承載體的第一對準標記及形成在定位于所述第二目標位置的所述被轉印體的第二對準標記，基于其拍攝結果使所述第一保持設備及所述第二保持設備中的至少一者作動，對所述承載體與所述被轉印體進行位置對準，

所述第一保持設備是保持所述承載體的周緣部，以使所述圖案承載面朝上的水平姿勢且以使比所述周緣部更靠內側的中央部的下方敞開的狀態保持所述承載體，且

所述推頂設備是通過從下方推頂所述承載體的所述中央部，而使承載于所述承載體的所述圖案抵接于所述被轉印體的所述被轉印面。

2.根據權利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于：所述精密對準設備是在同一視場內同時拍攝所述第一對準標記及所述第二對準標記。

3.根據權利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于：所述預對準設備包括拍攝所述承載體及所述被轉印體的外緣的預對準用拍攝部，另一方面，所述精密對準設備包括以高于所述預對準用拍攝部的分辨率拍攝所述第一對準標記及所述第二對準標記的精密對準用拍攝部。

4.根據權利要求3所述的圖案形成裝置，其特征在于：所述精密對準用拍攝部包括倍率固定的攝像光學系統。

5.根據權利要求3或4所述的圖案形成裝置，其特征在于：所述預對準設備包括多個所述預對準用拍攝部，多個所述預對準用拍攝部分別拍攝所述承載體的外緣中的互不相同的多個部位及所述被轉印體的外緣中的互不相同的多個部位。

6.一種圖案形成方法，其特征在于，包括：

配置步驟，利用第一保持設備保持承載圖案的承載體，并且利用第二保持設備保持被轉印所述圖案的被轉印體，使所述承載體的圖案承載面與所述被轉印體的被轉印面對向地配置；

預對準步驟，拍攝所述承載體的外緣的至少一部分，基于其拍攝結果使所述第一保持設備移動而將所述承載體定位在規定的第一目標位置，并且拍攝所述被轉印體的外緣中的至少一部分，基于其拍攝結果使所述第二保持設備移動而將所述被轉印體定位在規定的第二目標位置；以及

精密對準步驟，拍攝形成在所述承載體的第一對準標記及形成在所述被轉印體的第二對準標記，基于其拍攝結果使所述第一保持設備及所述第二保持設備中的至少一者移動，對所述承載體與所述被轉印體進行位置對準，

所述第一保持設備是保持所述承載體的周緣部，以使所述圖案承載面朝上的水平姿勢且以使比所述周緣部更靠內側的中央部的下方敞開的狀態保持所述承載體，且

通過利用推頂設備從下方推頂所述承載體的所述中央部，而使承載于所述承載體的所述圖案抵接于所述被轉印體的所述被轉印面。

7.根據權利要求6所述的圖案形成方法，其特征在于：在所述精密對準步驟中，在同一視場內同時拍攝所述第一對準標記及所述第二對準標記。

8.根據權利要求7所述的圖案形成方法，其特征在于：在所述精密對準步驟中，將所述第一對準標記處于進行拍攝的拍攝部的視場內的所述承載體的位置設為所述第一目標位置，另一方面，將所述第二對準標記處于所述拍攝部的視場內的所述被轉印體的位置設為所述第二目標位置。