[發(fā)明專利]一種設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410060153.5 | 申請日： | 2014-02-21 |
| 公開（公告）號： | CN103887216A | 公開（公告）日： | 2014-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 秦貴明;裴雷洪;俞瑋 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務(wù)所 31272 | 代理人： | 吳俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 設(shè)有 安全 擋板 oht 系統(tǒng) | ||
1.一種設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，包括搬運(yùn)車、搬運(yùn)軌道和裝載臺，所述搬運(yùn)車可滑動(dòng)的設(shè)于所述搬運(yùn)軌道上，所述搬運(yùn)軌道的一端位于所述裝載臺的上方，其特征在于，還包括可開合的安全擋板，所述安全擋板設(shè)于所述裝載臺的外側(cè)，當(dāng)所述安全擋板閉合時(shí)，所述安全擋板將所述OHT系統(tǒng)的工作區(qū)域與外界區(qū)域隔開，當(dāng)所述安全擋板打開時(shí)，所述安全擋板將所述OHT系統(tǒng)的工作區(qū)域與外界區(qū)域連通。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其特征在于，所述安全擋板包括可相互滑動(dòng)并形成開合的第一移門和第二移門。
3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其特征在于，所述安全擋板還包括滑輪和導(dǎo)軌，所述第一移門和第二移門通過所述滑輪可滑動(dòng)的設(shè)于所述導(dǎo)軌上。
4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其特征在于，所述第一移門和第二移門由透明的亞克力板制成。
5.如權(quán)利要求4所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其特征在于，所述裝載臺的外側(cè)還設(shè)有擋板，當(dāng)所述安全擋板閉合時(shí)，所述擋板和安全擋板配合將所述OHT系統(tǒng)的工作區(qū)域與外界區(qū)域隔開。
6.如權(quán)利要求5所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其特征在于，所述安全擋板的長度高度與所述擋板的長度和高度相匹配。
7.如權(quán)利要求6所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其特征在于，所述裝載臺外側(cè)的擋板上還設(shè)有安全光柵。
8.如權(quán)利要求7所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其特征在于，所述搬運(yùn)車上還設(shè)有下視傳感器。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
