[發(fā)明專利]一種設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410060153.5
• 申請日: 2014-02-21
• 公開（公告）號: CN103887216A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 秦貴明;裴雷洪;俞瑋
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 吳俊

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前，現(xiàn)有300mm?fab（芯片廠）廣泛采用OHT（天井式搬運車，OVER-HEAD?HOIST?TRANSPORTATION)系統(tǒng)作業(yè)，用小車代替人工將foup（晶圓傳送盒，F(xiàn)ront?Opening?Unified?Pod)搬送到process?tool（工裝）。自動作業(yè)在節(jié)約人力和提高搬送速度的同時，也帶來了一定的安全隱患，比如在小車將foup放置到load?port（裝載臺）的過程中，如果小車look?down?sensor（下視傳感器）出現(xiàn)故障，而恰好有人員此時進入OHT工作區(qū)域，下落的foup會直接撞到人員，存在很大的安全隱患。

Look?down?sensor發(fā)射特定頻率的紅外線至機臺load?port，正常無障礙物的情況下，接收器不會收到反射的紅外線信號，若有物體進入該區(qū)域，則接收器會接收到物體反射回來的紅外線信號，從而判斷有物體在下方。look?down?sensor是搬送小車在工作過程中一個保證制品和人身安全的重要保障。但如果小車look?down?sensor（下視傳感器）出現(xiàn)故障，而恰好有人員此時進入OHT工作區(qū)域，就會造成人員傷亡。

現(xiàn)有技術(shù)中的部分機臺已經(jīng)在load?port兩側(cè)安裝安全光柵，通過光電傳感器檢測是否有人員和物體進入OHT區(qū)域。但安全光柵和所有光電傳感器一樣，使用時間久后會出現(xiàn)偶爾反應(yīng)不靈敏的狀況，所以還是存在一定的安全隱患，另外有的機臺沒有自帶安全光柵，改造加裝成本也相對較高。

專利CN1505836公開了一種被處理體的搬運系統(tǒng)、無人搬運車系統(tǒng)、無人搬運車及被處理體的搬運方法，具有：管理半導(dǎo)體裝置生產(chǎn)的主計算機；在該主計算機的管理下，從被處理體制造半導(dǎo)體裝置的多個半導(dǎo)體制造裝置；為按照各自的要求向這些半導(dǎo)體制造裝置一片一片地傳遞所述被處理體，沿同一軌道自動搬運被處理體的多個自動搬運裝置；以及與所述主計算機協(xié)作運行這些自動搬運裝置的搬運運行裝置，所述搬運運行裝置具有控制部，該控制部具有根據(jù)所述各個半導(dǎo)體制造裝置和所述各個自動搬運裝置各自的位置關(guān)系，作成所述各個自動搬運裝置的運行程序，同時確定各自最佳的搬運路線，并把所述各個自動搬運裝置分配到各自最佳的搬運路線上的調(diào)度程序及分配程序。但該專利存在安全性能不好的問題。

專利CN101677075公開了一種結(jié)合自動化輸送帶搬運裝置與物料控制系統(tǒng)的自動化物料搬運系統(tǒng)。利用物料控制系統(tǒng)分別將第一與第二虛擬倉儲代碼賦予自動化輸送帶搬運裝置的第一與第二虛擬緩沖倉儲。利用傳輸系統(tǒng)控制器將晶片盒搬運至并載入該第一虛擬緩沖倉儲。將該晶片盒載入至該自動化輸送帶搬運裝置的軌道上，并且將虛擬搬運車代碼賦予該晶片盒。經(jīng)由該自動化輸送帶搬運裝置的軌道移動該晶片盒，并且將該晶片盒搬運至并載入該第二虛擬緩沖倉儲。將該晶片盒的該虛擬搬運車代碼移除，并且利用該傳輸系統(tǒng)控制器自該第二虛擬緩沖倉儲取走該晶片盒。但該專利任存在安全性能不佳的問題。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述問題，本發(fā)明提供一種設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)。

本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為：

一種設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，包括搬運車、搬運軌道和裝載臺，所述搬運車可滑動的設(shè)于所述搬運軌道上，所述搬運軌道的一端位于所述裝載臺的上方，其中，還包括可開合的安全擋板，所述安全擋板設(shè)于所述裝載臺的外側(cè)，當(dāng)所述安全擋板閉合時，所述安全擋板將所述OHT系統(tǒng)的工作區(qū)域與外界區(qū)域隔開，當(dāng)所述安全擋板打開時，所述安全擋板將所述OHT系統(tǒng)的工作區(qū)域與外界區(qū)域連通。

所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其中，所述安全擋板包括可相互滑動并形成開合的第一移門和第二移門。

所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其中，所述安全擋板還包括滑輪和導(dǎo)軌，所述第一移門和第二移門通過所述滑輪可滑動的設(shè)于所述導(dǎo)軌上。

所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其中，所述第一移門和第二移門由透明的亞克力板制成。

所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其中，所述裝載臺的外側(cè)還設(shè)有擋板，當(dāng)所述安全擋板閉合時，所述擋板和安全擋板配合將所述OHT系統(tǒng)的工作區(qū)域與外界區(qū)域隔開。

所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其中，所述安全擋板的長度高度與所述擋板的長度和高度相匹配。

所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其中，所述裝載臺外側(cè)的擋板上還設(shè)有安全光柵。

所述的設(shè)有安全擋板的OHT系統(tǒng)，其中，所述搬運車上還設(shè)有下視傳感器。