[發明專利]圖案形成裝置及圖案形成方法

無效

• 申請號: 201410058971.1
• 申請日: 2014-02-21
• 公開（公告）號: CN104002546A
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發明（設計）人: 正司和大;川越理史;上野博之;芝藤彌生;增市干雄;上野美佳
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: B41F16/00
• 分類號: B41F16/00;B41M5/00
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 董雅會;郭曉東

1.一種圖案形成裝置，其特征在于，

具有：

第一保持單元，具有多個分別與橡皮布的下表面的局部抵接的局部支撐部，多個所述局部支撐部以一面上擔載有圖案形成材料的所述橡皮布的所述圖案形成材料的擔載面朝上的方式在下表面側與所述橡皮布相抵接，從而將所述橡皮布支撐為水平姿勢；

第二保持單元，將用于對所述圖案形成材料進行圖案成形的版或者要被轉印圖案的基板作為處理對象物，以使該處理對象物與被所述第一保持單元保持的所述橡皮布的上表面接近且相向的方式，保持該處理對象物；

托起構件，從所述橡皮布的下表面側局部地托起所述橡皮布中央部的有效區域，來使所述有效區域與被所述第二保持單元保持的所述處理對象物相抵接，而且沿著所述橡皮布的下表面移動來使所述橡皮布的托起位置發生變化；

升降單元，能夠使多個所述局部支撐部分別單獨地升降。

2.根據權利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于，

在多個所述局部支撐部分別與所述橡皮布的下表面抵接的狀態下，隨著所述托起構件的移動，所述升降單元使多個所述局部支撐部依次下降。

3.根據權利要求2所述的圖案形成裝置，其特征在于，

多個所述局部支撐部沿著所述托起構件的移動方向排列，所述升降單元以沿著所述托起構件的移動方向的順序使所述局部支撐部下降。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述托起構件將所述橡皮布的下表面的在一個軸方向上比所述有效區域的長度長的區域一同托起，

所述局部支撐部分別在將所述軸方向作為長度方向延伸設置的抵接面與所述橡皮布相抵接。

5.根據權利要求4所述的圖案形成裝置，其特征在于，

還具有：

支撐構件，具有支撐部和腳部，所述支撐部在所述軸方向上沿著所述托起構件延伸設置，該支撐部用兩端部支撐所述托起構件且所述托起構件能夠自由旋轉，所述腳部從所述支撐部的所述軸方向上的中央部向下方延伸，

移動機構，使所述支撐構件沿著與所述軸方向相垂直的方向移動；

一對所述局部支撐部以沿著所述軸方向排列且彼此分離的方式配置，并且成對的所述局部支撐部沿著與所述軸方向相垂直的方向排列配置有多對，

所述支撐構件的所述腳部在成對的所述局部支撐部之間的空隙經過。

6.根據權利要求1至3中任一項所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述第一保持單元具有保持框，該保持框以使所述橡皮布的所述有效區域的下方開放的狀態，保持所述橡皮布的所述有效區域的外側的周緣部，

在所述橡皮布的被所述保持框保持的周緣部的內側，多個所述局部支撐部抵接于所述橡皮布的下表面。

7.一種圖案形成方法，其特征在于，

包括：

第一工序，以使一面上擔載有圖案形成材料的橡皮布的所述圖案形成材料的擔載面朝上的方式，使能夠彼此獨立地升降的多個局部支撐部分別與所述橡皮布的下表面的局部相抵接，從而將所述橡皮布支撐為水平姿勢，

第二工序，將用于對所述圖案形成材料進行圖案成形的版或者要被轉印圖案的基板作為處理對象物，以使該處理對象物的下表面和所述橡皮布的所述擔載面隔開規定的間隙接近的方式，相向配置所述處理對象物和所述橡皮布，

第三工序，使托起構件與所述橡皮布的下表面抵接，通過該托起構件托起所述橡皮布的局部，從而使該橡皮布與所述處理對象物相抵接，使所述托起構件沿著所述橡皮布的下表面移動；

在所述第三工序中，隨著所述托起構件移動，使所述局部支撐部依次下降來與所述橡皮布分離。

8.根據權利要求7所述的圖案形成方法，其特征在于，

在所述第一工序中，多個所述局部支撐部沿著所述托起構件的移動方向排列，在所述第三工序中，以沿著所述托起構件的移動方向的順序使所述局部支撐部下降。

9.根據權利要求7或8所述的圖案形成方法，其特征在于，

在所述第三工序中，在所述托起構件與所述橡皮布相抵接的抵接位置和一個所述局部支撐部與所述橡皮布相抵接的抵接位置之間的距離小于規定值時，使該局部支撐部下降。