[發明專利]測定裝置

有效

• 申請號: 201410058489.8
• 申請日: 2014-02-20
• 公開（公告）號: CN104007498B
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 松下友紀
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28;G02B26/00;G01J1/00;G01J3/28;G01N21/65;G01N21/25
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

本發明提供一種測定裝置。該分光測定裝置（1）具備：波長可變干涉濾波器（5），具備固定反射膜、可動反射膜、及使固定反射膜與可動反射膜間的間隙尺寸變更的靜電致動器；檢測器（12），接收入射光；濾波器控制部（22），將固定反射膜與可動反射膜間的間隙尺寸設定為與比測定對象波長區域小的第一波長的光相應的第一尺寸；截止濾波器（11），阻截比測定對象波長區域小的波長的光；以及光量獲取部（23），獲取在將間隙尺寸設為第一尺寸時由檢測器（12）接收的雜散光的光量。

技術領域

本發明涉及測定光量的測定裝置。

背景技術

目前，公認的有如下測定裝置：其接收透過光學元件的光，并測定其受光量。（例如，參照專利文獻1）。

在該專利文獻1中記載的測定裝置是如下裝置：其使光射入法布里-珀羅濾波器，通過紅外檢測器接收透過該法布里-珀羅濾波器的測定光后，測定其受光量。

現有技術文獻

專利文獻

【專利文獻1】：日本特開2002-71562號公報

發明內容

發明要解決的課題

在上述專利文獻1中，通過檢測器檢測透過法布里-珀羅濾波器（波長可變干涉濾波器）的測定光，但是也會存在沒有透過波長可變干涉濾波器的雜散光與測定光同時地在檢測器中被接收的情況。如此，雜散光便成為噪聲成分，因而存在導致測定精度劣化這樣的問題。

本發明的目的在于提供能夠進行高測定精度的光量測定的測定裝置。

解決課題的手段

本發明的測定裝置其特征在于，具備：截止濾波器，使入射光中的規定波長區域的光減少；第一反射膜，使透過所述截止濾波器的光的一部分反射，一部分透過；第二反射膜，與所述第一反射膜相對，使透過所述第一反射膜的光的一部分反射，一部分透過；間隙變更部，變更所述第一反射膜與所述第二反射膜間的間隙尺寸；受光部，接收透過所述第二反射膜的光；以及間隙設定部，控制所述間隙變更部，將所述間隙尺寸設定為與所述規定波長區域內的第一波長相應的第一尺寸。

本發明中，將第一反射膜與第二反射膜間的間隙尺寸設定為與經由截止濾波器而光量發生減少（被阻截）的波長區域內的第一波長相應的第一尺寸，屆時再獲取由受光部接收的光量。

由此，由第一反射膜及第二反射膜所構成的干涉濾波器可以讓與第一尺寸相應的第一波長的光透過，但是，該第一波長的光被截止濾波器所阻截。因此，通過干涉濾波器的光不射入受光部，沒有通過干涉濾波器的光、即雜散光在受光部中被接收，從而可以高精度地進行雜散光的光量的檢測。由此，在測定作為實際測定對象的規定波長區域的光的光量時，從測定值中減去雜散光的光量，從而可以高測定精度地進行光量測定。

本發明的測定裝置其特征在于，具備：第一反射膜，使入射光的一部分反射一部分透過；第二反射膜，與所述第一反射膜相對，使透過所述第一反射膜的光的一部分反射一部分透過；間隙變更部，變更所述第一反射膜與所述第二反射膜間的間隙尺寸；受光部，接收透過所述第二反射膜的光；以及間隙設定部，控制所述間隙變更部，將所述間隙尺寸設定為與規定波長區域內的第一波長相應的第一尺寸，所述第一波長為所述受光部的受光靈敏度在規定的靈敏度閾值以下的波長。

在本發明中，與上述發明相同，將第一反射膜與第二反射膜間的間隙尺寸設定為第一尺寸，屆時獲取由受光部接收的光量。

這時，間隙設定部將與受光部的受光靈敏度在規定的靈敏度閾值以下的第一波長相應的尺寸設定為第一尺寸。如將該靈敏度閾值設定為比與第一波長以外的波長相應的受光靈敏度要小得多的值時，即使由干涉濾波器提取的光到達受光部，檢測出的受光量與雜散光光量相比也是可以忽略不計的。因此，本發明中也可以高精度地檢測雜散光的光量，能夠基于檢測到的雜散光光量，高測定精度地進行光量測定。