[發(fā)明專利]測定裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410058489.8
• 申請日: 2014-02-20
• 公開（公告）號: CN104007498B
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 松下友紀
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28;G02B26/00;G01J1/00;G01J3/28;G01N21/65;G01N21/25
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種測定裝置，其特征在于，具備：

截止濾波器，阻截入射光中的規(guī)定波長區(qū)域的光；

第一反射膜，使透過所述截止濾波器的光的一部分反射，一部分透過；

第二反射膜，與所述第一反射膜相對，使透過所述第一反射膜的光的一部分反射，一部分透過；

間隙變更部，變更所述第一反射膜與所述第二反射膜間的間隙尺寸；

受光部，接收透過所述第二反射膜的光；

間隙設(shè)定部，控制所述間隙變更部，將所述間隙尺寸設(shè)定為與所述規(guī)定波長區(qū)域內(nèi)的第一波長相應(yīng)的第一尺寸；

光量獲取部，獲取在所述間隙尺寸被設(shè)定為所述第一尺寸時由所述受光部接收的光量；

測定部，獲取在所述間隙尺寸變更為與所述規(guī)定波長區(qū)域以外的第二波長相應(yīng)的間隙尺寸時由所述受光部接收的所述第二波長的光的光量；以及

光量校正部，獲取從所述測定部所獲取的所述第二波長的光的光量中減去所述光量獲取部所獲取的光量后的光量作為所述第二波長的光的光量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測定裝置，其特征在于，還具備：

第一基板，所述第一反射膜設(shè)置在所述第一基板上；

第二基板，所述第二反射膜設(shè)置在所述第二基板上；以及

間隙尺寸限制部，設(shè)置在所述第一基板與所述第二基板中的至少一個基板上，用于在所述間隙尺寸變?yōu)樗龅谝怀叽鐣r與另一個基板抵接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測定裝置，其特征在于，

在從基板厚度方向觀察所述第一基板與所述第二基板的俯視觀察中，所述間隙尺寸限制部設(shè)置在不與所述第一反射膜及所述第二反射膜重疊的位置上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測定裝置，其特征在于，

每次進行所述測定部的測定時，所述間隙設(shè)定部都將所述間隙尺寸設(shè)定為所述第一尺寸，并在所述光量獲取部獲取由所述受光部接收的光量。

5.一種測定裝置，其特征在于，具備：

第一反射膜；

第二反射膜，與所述第一反射膜相對；

間隙變更部，變更所述第一反射膜與所述第二反射膜間的間隙尺寸；

受光部，接收透過所述第二反射膜的光；以及

間隙設(shè)定部，控制所述間隙變更部，將所述間隙尺寸設(shè)定為與規(guī)定波長區(qū)域內(nèi)的第一波長相應(yīng)的第一尺寸，

所述第一波長為所述受光部的受光靈敏度在規(guī)定的靈敏度閾值以下的波長，

其中，所述測定裝置還具備：

光量獲取部，獲取在所述間隙尺寸被設(shè)定為所述第一尺寸時由所述受光部接收的光量；

測定部，獲取在所述間隙尺寸變更為與所述規(guī)定波長區(qū)域以外的第二波長相應(yīng)的間隙尺寸時由所述受光部接收的所述第二波長的光的光量；以及

光量校正部，獲取從所述測定部所獲取的所述第二波長的光的光量中減去所述光量獲取部所獲取的光量后的光量作為所述第二波長的光的光量。