[發明專利]一種用于半導體工藝設備的工藝門水平調節裝置

有效

• 申請號: 201410058361.1
• 申請日: 2014-02-20
• 公開（公告）號: CN103769857A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 張駿;柳文濤
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: B23P19/10
• 分類號: B23P19/10
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本發明涉及一種用于半導體集成電路工藝設備的水平調節裝置，更具體地，涉及一種用于確定和調整半導體集成電路工藝設備的工藝門水平度的水平調節裝置。

背景技術

半導體集成電路工藝設備的工藝門用來封閉熱反應管，防止熱反應管內的熱能散失，以及工藝氣體的泄漏或外部氣體的進入。如果工藝門與熱反應管爐口之間的密封性不好，將直接影響工藝過程中硅片膜厚的均勻性。

工藝門的水平度是衡量工藝門安裝質量的主要指標，其直接影響工藝過程中爐口的密封性和硅片膜厚的均勻性。

半導體集成電路工藝設備中的保溫桶、石英舟和熱反應管都需要定期拆卸進行清理，每次拆裝都需要對工藝門的水平重新進行調節。

目前，調節工藝門水平的方法是將水平儀放置在工藝門上，對工藝門的水平度進行調節。這種調平方法不僅會帶來水平儀和工藝門接觸面的加工誤差，而且，為了便于觀察水平儀，需要將工藝門降低到工藝設備中的微環境底部。因此，這種調平方法誤差較大，效率低，對工藝質量和產能帶來不利影響。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術存在的上述缺陷，提供一種新型的工藝門水平調節裝置，通過在工藝門的固定盤上設置帶有刻度的具有升降功能的調節裝置，實現對工藝門水平度的直接觀察和實時調整，可有效避免調平誤差，節約調平時間，從而提高了工藝質量和產能。

為實現上述目的，本發明的技術方案如下：

一種用于半導體工藝設備的工藝門水平調節裝置，所述工藝門的下端面通過支撐柱連接固定盤，所述水平調節裝置包括：

殼體，所述殼體為管型，其內壁下端設有螺紋；

調節螺釘，所述螺釘的上端與所述殼體螺紋連接，下端連接所述固定盤；

彈簧，設置在所述殼體內的所述螺釘上方，并與所述螺釘相接觸；

滑塊，設置在所述殼體內的彈簧上方，并與所述彈簧相接觸，所述滑塊的頂部與所述工藝門的下表面相接觸。調節工藝門水平前，先調松支撐柱上的緊固裝置，工藝門壓迫滑塊，使彈簧具有一定的壓縮量。當使殼體與調節螺釘發生相對轉動時，帶動彈簧擠壓或松弛，使工藝門上升或下降，從而實現對工藝門水平度的調節。當調節到位時，再將支撐柱上的緊固裝置調緊，工藝門的水平狀態即得到固定。

進一步地，所述螺釘的下端固定連接所述固定盤。在調平時，轉動殼體調節，使滑塊升降。

進一步地，所述螺釘的下端活動連接所述固定盤。在調平時，可同時轉動殼體及螺釘進行調節，使滑塊升降。

進一步地，所述彈簧為壓縮彈簧，接觸設于所述螺釘和所述滑塊之間的所述殼體內。采用壓縮彈簧，使其具有一定的彈性伸縮余量，以便調節滑塊的升降。

進一步地，所述滑塊與所述殼體的內壁滑動配合，使滑塊可沿軸向升降，不會造成偏移。

進一步地，所述滑塊側面標有軸向距離刻度。在調節工藝門的水平時，在工藝門的不同部位，將水平調節裝置的滑塊高度調節到露出殼體上端面的相同的刻度值，說明工藝門已處于水平狀態。

進一步地，所述水平調節裝置豎直設于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間。將水平調節裝置安裝在支撐柱附近，可使水平調節的結果更具有準確性。

進一步地，所述水平調節裝置豎直設于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間，數量為3個。一般支撐柱的數量為3個，在每個支撐柱附近同時安裝水平調節裝置，可使水平調節更方便、精確，并節約調節時間。

進一步地，所述3個水平調節裝置的位置不在同一條直線上，以保證水平調節的準確性。

進一步地，所述水平調節裝置豎直設于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間，其自然狀態高度大于所述固定盤和所述工藝門之間的間距。這樣設計是為了在水平調節前，使水平調節裝置中的彈簧具有一定的壓縮量，可以在調節螺釘的作用下收縮或伸張。

從上述技術方案可以看出，本發明通過在工藝門與固定盤之間的支撐柱附近設置帶有刻度的具有升降功能的水平調節裝置，利用殼體與調節螺釘相對轉動帶來的位移，驅使殼體內的彈簧帶動滑塊上升或下降，實現對工藝門水平度的直接觀察和實時調整，不需要再將工藝門降至微環境底部來觀察和調整；滑塊上標有刻度，可有效避免調平誤差，在不同部位多點設置調節裝置，可節約調平時間。因此，本發明的運用可以提高工藝質量和產能。

附圖說明

圖1為本發明一種用于半導體工藝設備的工藝門水平調節裝置在工藝門上的安裝結構示意圖；

圖2為本發明一種用于半導體工藝設備的工藝門水平調節裝置的剖面結構示意圖。

具體實施方式