[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410058361.1
• 申請(qǐng)日: 2014-02-20
• 公開（公告）號(hào): CN103769857A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張駿;柳文濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): B23P19/10
• 分類號(hào): B23P19/10
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝門水平調(diào)節(jié)裝置，所述工藝門的下端面通過支撐柱連接固定盤，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)裝置包括：

殼體，所述殼體為管型，其內(nèi)壁下端設(shè)有螺紋；

調(diào)節(jié)螺釘，所述螺釘?shù)纳隙伺c所述殼體螺紋連接，下端連接所述固定盤；

彈簧，設(shè)置在所述殼體內(nèi)的所述螺釘上方，并與所述螺釘相接觸；

滑塊，設(shè)置在所述殼體內(nèi)的彈簧上方，并與所述彈簧相接觸，所述滑塊的頂部與所述工藝門的下表面相接觸。

2.如權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述螺釘?shù)南露斯潭ㄟB接所述固定盤。

3.如權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述螺釘?shù)南露嘶顒?dòng)連接所述固定盤。

4.如權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述彈簧為壓縮彈簧，接觸設(shè)于所述螺釘和所述滑塊之間的所述殼體內(nèi)。

5.如權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述滑塊與所述殼體的內(nèi)壁滑動(dòng)配合。

6.如權(quán)利要求1、4或5所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述滑塊側(cè)面標(biāo)有軸向距離刻度。

7.如權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)裝置豎直設(shè)于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間。

8.如權(quán)利要求1或7所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)裝置豎直設(shè)于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間，數(shù)量為3個(gè)。

9.如權(quán)利要求8所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述3個(gè)水平調(diào)節(jié)裝置的位置不在同一條直線上。

10.如權(quán)利要求1、7或9所述的水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)裝置豎直設(shè)于所述支撐柱附近的所述固定盤和所述工藝門之間，其自然狀態(tài)高度大于所述固定盤和所述工藝門之間的間距。