[發(fā)明專利]半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410058336.3
• 申請(qǐng)日: 2014-02-20
• 公開（公告）號(hào): CN103794024A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張立超;劉建濤;鐘結(jié)實(shí);王亞寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): G08B21/00
• 分類號(hào): G08B21/00;H01L21/67
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;陳慧弘

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備控制技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法。

背景技術(shù)

當(dāng)半導(dǎo)體工藝過程中發(fā)生設(shè)備運(yùn)作異常時(shí)，會(huì)發(fā)出報(bào)警信息并進(jìn)行相應(yīng)處理，從而達(dá)到維護(hù)工藝安全、保護(hù)半導(dǎo)體設(shè)備的目的。目前，在半導(dǎo)體處理工藝中所采用的報(bào)警處理方法是通過一個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)文件設(shè)定每個(gè)報(bào)警信息所對(duì)應(yīng)的處理方式，由此當(dāng)發(fā)出報(bào)警信息時(shí)，根據(jù)該報(bào)警信息所對(duì)應(yīng)的處理方式處理。然而，這種處理方式的缺陷在于，不論任何情況下，同一報(bào)警信息產(chǎn)生后的處理方式是固定的。由于在半導(dǎo)體處理工藝的各個(gè)工藝步驟中，相同報(bào)警信息對(duì)工藝產(chǎn)生的影響不盡相同，因此若在不同工藝步驟中，均以相同的處理方式對(duì)待同一報(bào)警信息，例如終止工藝，則當(dāng)該報(bào)警信息對(duì)工藝步驟產(chǎn)生影響較小時(shí)，也會(huì)使工藝終止，不利于對(duì)設(shè)備的保護(hù)，更會(huì)造成生產(chǎn)損失、降低工藝的成功率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的旨在提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)在不同工藝步驟中對(duì)同一個(gè)報(bào)警事件進(jìn)行不同處理的方法，以降低異常情況帶來的損失，提高工藝的成功率。

為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法，用于對(duì)半導(dǎo)體處理工藝的各工藝步驟所產(chǎn)生的不同報(bào)警事件進(jìn)行相應(yīng)的處理，所述報(bào)警處理方法包括以下步驟：

S1：對(duì)于每一個(gè)所述報(bào)警事件根據(jù)不同的所述工藝步驟設(shè)定對(duì)應(yīng)的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報(bào)警事件所對(duì)應(yīng)的組別不完全相同；

S2：根據(jù)發(fā)生報(bào)警事件的工藝步驟獲得該報(bào)警事件所對(duì)應(yīng)的組別；以及

S3：以該組別所對(duì)應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。

優(yōu)選地，步驟S1進(jìn)一步包括：建立與所述半導(dǎo)體處理工藝的每一工藝步驟一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)報(bào)警事件表，其中每一所述報(bào)警事件表記錄全部所述報(bào)警事件以及每一所述報(bào)警事件對(duì)應(yīng)的組別。

優(yōu)選地，步驟S2包括：

S21：在工藝菜單中針對(duì)每一所述工藝步驟設(shè)定第一參數(shù)和第二參數(shù)，所述第一參數(shù)用于表示對(duì)應(yīng)于該工藝步驟的報(bào)警事件表，所述第二參數(shù)用于表示全部的所述組別所對(duì)應(yīng)的處理方式；

S22：根據(jù)所述工藝菜單中針對(duì)發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第一參數(shù)獲得對(duì)應(yīng)的所述報(bào)警事件表；

S23：根據(jù)該報(bào)警事件表獲得該報(bào)警事件對(duì)應(yīng)的組別。

優(yōu)選地，步驟S2為根據(jù)針對(duì)所述工藝菜單中發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第二參數(shù)以該組別所對(duì)應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。

優(yōu)選地，根據(jù)所述第二參數(shù)的設(shè)定，所述多個(gè)報(bào)警事件表中相同的組別所對(duì)應(yīng)的處理方式相同或不同。

優(yōu)選地，所述處理方式包括：忽略報(bào)警事件、暫停工藝步驟、終止工藝步驟和跳過工藝步驟。

本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理系統(tǒng)，用于對(duì)半導(dǎo)體處理工藝的各工藝步驟所產(chǎn)生的不同報(bào)警事件進(jìn)行相應(yīng)的處理。所述報(bào)警處理系統(tǒng)包括報(bào)警事件組別設(shè)定模塊，報(bào)警事件分析模塊和報(bào)警事件處理模塊，其中報(bào)警事件組別設(shè)定模塊用于對(duì)于每一個(gè)所述報(bào)警事件根據(jù)不同的所述工藝步驟設(shè)定對(duì)應(yīng)的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報(bào)警事件所對(duì)應(yīng)的組別不完全相同；報(bào)警事件分析模塊用于根據(jù)發(fā)生報(bào)警事件的工藝步驟獲得該報(bào)警事件所對(duì)應(yīng)的組別；報(bào)警事件處理模塊用于以該組別所對(duì)應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。

優(yōu)選地，所述報(bào)警事件組別設(shè)定模塊建立與所述半導(dǎo)體處理工藝的每一工藝步驟一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)報(bào)警事件表，其中每一所述報(bào)警事件表記錄全部所述報(bào)警事件以及每一所述報(bào)警事件對(duì)應(yīng)的組別。

優(yōu)選地，所述報(bào)警事件分析模塊包括參數(shù)設(shè)定子模塊和報(bào)警事件組別獲取子模塊。其中參數(shù)設(shè)定子模塊用于在工藝菜單中針對(duì)每一所述工藝步驟設(shè)定第一參數(shù)和第二參數(shù)，所述第一參數(shù)用于表示對(duì)應(yīng)于該工藝步驟的報(bào)警事件表，所述第二參數(shù)用于表示全部的所述組別所對(duì)應(yīng)的處理方式；報(bào)警事件組別獲取子模塊用于根據(jù)所述工藝菜單中針對(duì)發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第一參數(shù)獲得對(duì)應(yīng)的所述報(bào)警事件表，并根據(jù)該報(bào)警事件表獲得該報(bào)警事件對(duì)應(yīng)的組別。

優(yōu)選地，所述報(bào)警事件處理模塊根據(jù)所述工藝菜單中針對(duì)發(fā)生該報(bào)警事件的工藝步驟所設(shè)定的第二參數(shù)以該組別所對(duì)應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。

優(yōu)選地，根據(jù)所述參數(shù)設(shè)定子模塊對(duì)所述第二參數(shù)的設(shè)定，所述多個(gè)報(bào)警事件表中相同的組別所對(duì)應(yīng)的處理方式相同或不同。

優(yōu)選地，所述處理方式包括：忽略報(bào)警事件、暫停工藝步驟、終止工藝步驟和跳過工藝步驟。

本發(fā)明所提出的半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法和系統(tǒng)，能夠根據(jù)實(shí)際情況在不同工藝步驟中對(duì)同一報(bào)警事件進(jìn)行區(qū)別對(duì)待，由此可降低異常情況帶來的損失，提高半導(dǎo)體工藝的成功率。