[發明專利]半導體工藝的報警處理方法

有效

• 申請號: 201410058336.3
• 申請日: 2014-02-20
• 公開（公告）號: CN103794024A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 張立超;劉建濤;鐘結實;王亞寧
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: G08B21/00
• 分類號: G08B21/00;H01L21/67
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;陳慧弘

技術領域

本發明涉及半導體工藝設備控制技術領域，特別涉及一種半導體工藝的報警處理方法。

背景技術

當半導體工藝過程中發生設備運作異常時，會發出報警信息并進行相應處理，從而達到維護工藝安全、保護半導體設備的目的。目前，在半導體處理工藝中所采用的報警處理方法是通過一個數據庫文件設定每個報警信息所對應的處理方式，由此當發出報警信息時，根據該報警信息所對應的處理方式處理。然而，這種處理方式的缺陷在于，不論任何情況下，同一報警信息產生后的處理方式是固定的。由于在半導體處理工藝的各個工藝步驟中，相同報警信息對工藝產生的影響不盡相同，因此若在不同工藝步驟中，均以相同的處理方式對待同一報警信息，例如終止工藝，則當該報警信息對工藝步驟產生影響較小時，也會使工藝終止，不利于對設備的保護，更會造成生產損失、降低工藝的成功率。

發明內容

本發明的主要目的旨在提供一種能夠實現在不同工藝步驟中對同一個報警事件進行不同處理的方法，以降低異常情況帶來的損失，提高工藝的成功率。

為達成上述目的，本發明提供一種半導體工藝的報警處理方法，用于對半導體處理工藝的各工藝步驟所產生的不同報警事件進行相應的處理，所述報警處理方法包括以下步驟：

S1：對于每一個所述報警事件根據不同的所述工藝步驟設定對應的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報警事件所對應的組別不完全相同；

S2：根據發生報警事件的工藝步驟獲得該報警事件所對應的組別；以及

S3：以該組別所對應的處理方式進行處理。

優選地，步驟S1進一步包括：建立與所述半導體處理工藝的每一工藝步驟一一對應的多個報警事件表，其中每一所述報警事件表記錄全部所述報警事件以及每一所述報警事件對應的組別。

優選地，步驟S2包括：

S21：在工藝菜單中針對每一所述工藝步驟設定第一參數和第二參數，所述第一參數用于表示對應于該工藝步驟的報警事件表，所述第二參數用于表示全部的所述組別所對應的處理方式；

S22：根據所述工藝菜單中針對發生該報警事件的工藝步驟所設定的第一參數獲得對應的所述報警事件表；

S23：根據該報警事件表獲得該報警事件對應的組別。

優選地，步驟S2為根據針對所述工藝菜單中發生該報警事件的工藝步驟所設定的第二參數以該組別所對應的處理方式進行處理。

優選地，根據所述第二參數的設定，所述多個報警事件表中相同的組別所對應的處理方式相同或不同。

優選地，所述處理方式包括：忽略報警事件、暫停工藝步驟、終止工藝步驟和跳過工藝步驟。

本發明還提供了一種半導體工藝的報警處理系統，用于對半導體處理工藝的各工藝步驟所產生的不同報警事件進行相應的處理。所述報警處理系統包括報警事件組別設定模塊，報警事件分析模塊和報警事件處理模塊，其中報警事件組別設定模塊用于對于每一個所述報警事件根據不同的所述工藝步驟設定對應的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報警事件所對應的組別不完全相同；報警事件分析模塊用于根據發生報警事件的工藝步驟獲得該報警事件所對應的組別；報警事件處理模塊用于以該組別所對應的處理方式進行處理。

優選地，所述報警事件組別設定模塊建立與所述半導體處理工藝的每一工藝步驟一一對應的多個報警事件表，其中每一所述報警事件表記錄全部所述報警事件以及每一所述報警事件對應的組別。

優選地，所述報警事件分析模塊包括參數設定子模塊和報警事件組別獲取子模塊。其中參數設定子模塊用于在工藝菜單中針對每一所述工藝步驟設定第一參數和第二參數，所述第一參數用于表示對應于該工藝步驟的報警事件表，所述第二參數用于表示全部的所述組別所對應的處理方式；報警事件組別獲取子模塊用于根據所述工藝菜單中針對發生該報警事件的工藝步驟所設定的第一參數獲得對應的所述報警事件表，并根據該報警事件表獲得該報警事件對應的組別。

優選地，所述報警事件處理模塊根據所述工藝菜單中針對發生該報警事件的工藝步驟所設定的第二參數以該組別所對應的處理方式進行處理。

優選地，根據所述參數設定子模塊對所述第二參數的設定，所述多個報警事件表中相同的組別所對應的處理方式相同或不同。

優選地，所述處理方式包括：忽略報警事件、暫停工藝步驟、終止工藝步驟和跳過工藝步驟。

本發明所提出的半導體工藝的報警處理方法和系統，能夠根據實際情況在不同工藝步驟中對同一報警事件進行區別對待，由此可降低異常情況帶來的損失，提高半導體工藝的成功率。