[發(fā)明專利]半導(dǎo)體工藝的報警處理方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410058336.3 | 申請日： | 2014-02-20 |
| 公開（公告）號： | CN103794024A | 公開（公告）日： | 2014-05-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張立超;劉建濤;鐘結(jié)實;王亞寧 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G08B21/00 | 分類號： | G08B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;陳慧弘 |
| 地址： | 100016 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導(dǎo)體 工藝 報警 處理 方法 | ||
1.一種半導(dǎo)體工藝的報警處理方法，用于對半導(dǎo)體處理工藝的各工藝步驟所產(chǎn)生的不同報警事件進行相應(yīng)的處理，其特征在于，所述報警處理方法包括：
S1：對于每一個所述報警事件根據(jù)不同的所述工藝步驟設(shè)定對應(yīng)的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報警事件所對應(yīng)的組別不完全相同；
S2：根據(jù)發(fā)生報警事件的工藝步驟獲得該報警事件所對應(yīng)的組別；以及
S3：以該組別所對應(yīng)的處理方式進行處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的報警處理方法，其特征在于，步驟S1包括：建立與所述半導(dǎo)體處理工藝的每一工藝步驟一一對應(yīng)的多個報警事件表，其中每一所述報警事件表記錄全部所述報警事件以及每一所述報警事件對應(yīng)的組別。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的報警處理方法，其特征在于，步驟S2包括：
S21：在工藝菜單中針對每一所述工藝步驟設(shè)定第一參數(shù)和第二參數(shù)，所述第一參數(shù)用于表示對應(yīng)于該工藝步驟的報警事件表，所述第二參數(shù)用于表示全部的所述組別所對應(yīng)的處理方式；
S22：根據(jù)所述工藝菜單中針對發(fā)生該報警事件的工藝步驟所設(shè)定的第一參數(shù)獲得對應(yīng)的所述報警事件表；
S23：根據(jù)該報警事件表獲得該報警事件對應(yīng)的組別。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的報警處理方法，其特征在于，步驟S3為根據(jù)針對所述工藝菜單中發(fā)生該報警事件的工藝步驟所設(shè)定的第二參數(shù)以該組別所對應(yīng)的處理方式進行處理。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的報警處理方法，其特征在于，根據(jù)所述第二參數(shù)的設(shè)定，所述多個報警事件表中相同的組別所對應(yīng)的處理方式相同或不同。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的報警處理方法，其特征在于，所述處理方式包括：忽略報警事件、暫停工藝步驟、終止工藝步驟和跳過工藝步驟。
7.一種半導(dǎo)體工藝的報警處理系統(tǒng)，用于對半導(dǎo)體處理工藝的各工藝步驟所產(chǎn)生的不同報警事件進行相應(yīng)的處理，其特征在于，所述報警處理系統(tǒng)包括：
報警事件組別設(shè)定模塊，用于對于每一個所述報警事件根據(jù)不同的所述工藝步驟設(shè)定對應(yīng)的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報警事件所對應(yīng)的組別不完全相同；
報警事件分析模塊，用于根據(jù)發(fā)生報警事件的工藝步驟獲得該報警事件所對應(yīng)的組別；以及
報警事件處理模塊，用于以該組別所對應(yīng)的處理方式進行處理。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的報警處理系統(tǒng)，其特征在于，所述報警事件組別設(shè)定模塊建立與所述半導(dǎo)體處理工藝的每一工藝步驟一一對應(yīng)的多個報警事件表，其中每一所述報警事件表記錄全部所述報警事件以及每一所述報警事件對應(yīng)的組別。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的報警處理系統(tǒng)，其特征在于，所述報警事件分析模塊包括：
參數(shù)設(shè)定子模塊，用于在工藝菜單中針對每一所述工藝步驟設(shè)定第一參數(shù)和第二參數(shù)，所述第一參數(shù)用于表示對應(yīng)于該工藝步驟的報警事件表，所述第二參數(shù)用于表示全部的所述組別所對應(yīng)的處理方式；以及
報警事件組別獲取子模塊，用于根據(jù)所述工藝菜單中針對發(fā)生該報警事件的工藝步驟所設(shè)定的第一參數(shù)獲得對應(yīng)的所述報警事件表，并根據(jù)該報警事件表獲得該報警事件對應(yīng)的組別。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的報警處理系統(tǒng)，其特征在于，所述報警事件處理模塊根據(jù)所述工藝菜單中針對發(fā)生該報警事件的工藝步驟所設(shè)定的第二參數(shù)以該組別所對應(yīng)的處理方式進行處理。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的報警處理系統(tǒng)，其特征在于，根據(jù)所述參數(shù)設(shè)定子模塊對所述第二參數(shù)的設(shè)定，所述多個報警事件表中相同的組別所對應(yīng)的處理方式相同或不同。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的報警處理系統(tǒng)，其特征在于，所述處理方式包括：忽略報警事件、暫停工藝步驟、終止工藝步驟和跳過工藝步驟。
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