[發明專利]蒸發設備

有效

• 申請號: 201410057314.5
• 申請日: 2014-02-20
• 公開（公告）號: CN104711520B
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 李秀奐;林宰圣;樸振佑
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/04
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;王艷春

蒸發設備包括坩堝體、加熱部、噴嘴部和多個隔熱板。在坩堝體中容納沉積材料。加熱部蒸發容納于坩堝體中的沉積材料。噴嘴部具有至少一個噴孔，沉積材料通過該噴孔噴射。多個隔熱板被設置在坩堝體內以將坩堝體劃分為多個容納空間，并且分隔板具有開口，容納空間通過開口而彼此相通。

技術領域

本發明的一個方面涉及蒸發設備。

背景技術

在顯示裝置中，有機發光顯示器（OLED）使用通過電子和空穴的復合而生成光的有機發光二極管來顯示圖像。OLED具有快速響應速度且以低功耗驅動。因此，OLED作為下一代顯示裝置而備受矚目。

通常，為了制造OLED，應執行在基板上形成由有機材料制成的薄膜的沉積工藝。如果裝載于坩堝中的沉積材料被加熱，則被蒸發的沉積材料的蒸汽穿過預定的掩模圖案而安裝在基板上。

發明內容

根據本發明的一個方面，提供了一種蒸發裝置，其包括坩堝體、加熱部、噴嘴部以及多個分隔板，其中坩堝體配置成在其中容納沉積材料，加熱部配置成蒸發容納在坩堝體中的沉積材料，噴嘴部配置成具有至少一個噴孔，沉積材料通過噴嘴部噴射，以及多個分隔板設置在坩堝體內部以將坩堝體分為多個容納空間，多個分隔板具有開口，容納空間通過開口而彼此相通。

分隔板和坩堝體可以具有不同的熱導率。

多個分隔板可以具有不同的熱導率。

多個分隔板可以包括：第一分隔板和第二分隔板，第一分隔板具有低于坩堝體的第一熱導率的第二熱導率，第二分隔板具有高于第一熱導率的第三熱導率。

各個分隔板可以包括：配置成具有第一熱導率的第一表面、以及配置成具有不同于第一熱導率的第二熱導率的第二表面，第二表面與第一表面相對。

每個分隔板具有的開口的大小或數量可與其它分隔板不同。

分隔板可以被設置成可附接至坩堝體/與坩堝體可分開。

坩堝體可以包括鈦，分隔板可以包括銅。

蒸發設備還可以包括：安裝在坩堝體的側部處的隔熱板。

坩堝體的底部表面可以形成為具有不同高度。

位于坩堝體的邊緣部處的底部表面可以形成為比位于坩堝體的中心部處的底部表面高。

附圖說明

將在下文參照附圖更全面地描述示例性實施方式；然而，示例性實施方式可以以不同的形式實現并且不應被解釋為限制于本文所提及的實施方式。相反，提供這些實施方式以使本公開是徹底和完整的，并且將示例性實施方式的范圍充分傳達給本領域技術人員。

在附圖中，為了清楚地圖示可放大尺寸。應該理解，當一個元件被稱為位于兩個元件“之間”時，該元件可以是兩個元件之間的唯一元件，或者還可存在一個或多個中間元件。在全文中，相同的參考標記指示相同的元件。

圖1是根據本發明的第一實施方式的蒸發設備的示意性截面圖。

圖2是圖1的蒸發設備的平面圖。

圖3是示出設置在坩堝體內的分隔板的圖。

圖4A、圖4B、圖4C和圖4D是示出分隔板的各實施方式的圖。

圖5是示出坩堝體的另一實施方式的截面圖。

具體實施方式

在以下詳細描述中，通過示例的方式僅示出并描述本發明的某些示例性實施方式。如本領域技術人員應理解，在不背離本發明的精神或范圍的情況下可以以多種不同的方式修改所描述的實施方式。因此，附圖和描述本質上被視為說明性的，而非限制性的。