[發(fā)明專利]吸附反轉(zhuǎn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410055089.1
• 申請(qǐng)日: 2014-02-18
• 公開（公告）號(hào): CN104044917B
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龜井慎太郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B65G47/91
• 分類號(hào): B65G47/91;B65G49/06
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發(fā)明是有關(guān)于一種吸附反轉(zhuǎn)裝置。本發(fā)明的吸附反轉(zhuǎn)裝置C，是使吸附有脆性材料基板W的吸附板18繞旋轉(zhuǎn)軸15旋轉(zhuǎn)以使該脆性材料基板W表面背面反轉(zhuǎn)，其中具有：側(cè)框14，將旋轉(zhuǎn)軸15支承成可旋轉(zhuǎn)；中空構(gòu)件50，以圍繞旋轉(zhuǎn)軸15的一部分的方式固定在側(cè)框14，且在一端部具有圓形開口部50a；圓盤狀突緣51，將該中空構(gòu)件50的圓形開口部50a加以密封，且與旋轉(zhuǎn)軸15成為一體地旋轉(zhuǎn)；第1埠52，在突緣51開口，通過配管53與吸附板18連通；以及第2埠55，在中空構(gòu)件50開口，通過配管56連通于空氣吸引裝置。本發(fā)明提供的技術(shù)方案可防止吸附板反轉(zhuǎn)旋動(dòng)時(shí)連接于吸附板的空氣配管扭曲或糾纏在一起且維持旋轉(zhuǎn)軸的強(qiáng)度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于一種在基板加工裝置使用的吸附反轉(zhuǎn)裝置，該基板加工裝置對(duì)由玻璃、硅、陶瓷、化合物半導(dǎo)體等脆性材料構(gòu)成的基板加工出分?jǐn)嘤玫目虅澗€、或沿著此刻劃線將基板分?jǐn)唷?/p>

背景技術(shù)

先前，例如在專利文獻(xiàn)1等已揭示使刀輪(亦稱為刻劃輪)在施加有既定刻劃壓的狀態(tài)下轉(zhuǎn)動(dòng)或利用激光束照射造成的熱變形對(duì)載置在平臺(tái)上的基板形成彼此正交的多條平行的刻劃線，之后，使基板表面背面反轉(zhuǎn)，從與設(shè)有該刻劃線的面相反側(cè)的面按壓裂斷桿使基板撓曲，據(jù)以分?jǐn)嗷迦〕鰡挝划a(chǎn)品的方法。

又，關(guān)于貼合有2片玻璃基板的基板的分?jǐn)喾椒?，在例如專利文獻(xiàn)2(圖45等)揭示借由以下所示的步驟進(jìn)行分?jǐn)嗟姆椒āＲ嗉矗栌墒沟遁嗈D(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)載置于刻劃裝置的平臺(tái)上的基板，在基板的一面即a面形成刻劃線。接著，以吸附反轉(zhuǎn)裝置吸附基板并使其反轉(zhuǎn)后，載置于裂斷裝置的平臺(tái)上，以裂斷桿等按壓成為基板a面的背面的基板b面以將基板a面加以裂斷。接著，與上述相同，在基板b面形成刻劃線，使基板反轉(zhuǎn)后，以裂斷桿等按壓基板a面以將基板b面分?jǐn)?。之后，從裂斷裝置移除分?jǐn)嗪蟮幕澹M(jìn)至下一步驟。

專利文獻(xiàn)1：國際公開WO2005/053925號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：國際公開WO2002/057192號(hào)公報(bào)

上述基板的加工方法中，一般使用吸附基板并使其表面背面反轉(zhuǎn)的吸附反轉(zhuǎn)裝置。吸附反轉(zhuǎn)裝置具備具有多數(shù)個(gè)小空氣吸氣孔的吸附板，從平臺(tái)等的載置臺(tái)將基板吸附于此吸附板后，在載置臺(tái)的上方上升至反轉(zhuǎn)所需的高度并使其反轉(zhuǎn)、或從載置臺(tái)的上方橫向移動(dòng)至具有反轉(zhuǎn)所需的空間的反轉(zhuǎn)位置并使其反轉(zhuǎn)。任一情形，皆必須將用以吸附基板的吸氣用配管從真空泵等的空氣吸引裝置連接于吸附板。

每當(dāng)將吸氣用配管連接于吸附板時(shí)，必須顧慮到吸附板反轉(zhuǎn)時(shí)不使配管扭曲或糾纏在一起。因此，例如上述專利文獻(xiàn)1(參照說明書段落0041欄)記載，揭示有在吸附板的旋轉(zhuǎn)軸的軸芯內(nèi)部設(shè)置空氣通路，從此空氣通路連通于吸附板。

然而，此現(xiàn)有習(xí)知的方法，必須穿過旋轉(zhuǎn)軸的軸芯部加工空氣通路，會(huì)有加工費(fèi)用變高且旋轉(zhuǎn)軸的強(qiáng)度降低的問題點(diǎn)。

有鑒于上述現(xiàn)有的吸附反轉(zhuǎn)裝置存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專業(yè)知識(shí)，并配合學(xué)理的運(yùn)用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型的吸附反轉(zhuǎn)裝置，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的吸附反轉(zhuǎn)裝置，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)過反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的吸附反轉(zhuǎn)裝置存在的缺陷，而提供一種新型的吸附反轉(zhuǎn)裝置，所要解決的技術(shù)問題是使得吸附板反轉(zhuǎn)旋動(dòng)時(shí)連接于吸附板的空氣配管不會(huì)扭曲或糾纏在一起且可在維持旋轉(zhuǎn)軸的強(qiáng)度的狀態(tài)下低價(jià)地加工，從而更加適于實(shí)用。