[發(fā)明專利]吸附反轉(zhuǎn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410055089.1
• 申請(qǐng)日: 2014-02-18
• 公開（公告）號(hào): CN104044917B
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龜井慎太郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B65G47/91
• 分類號(hào): B65G47/91;B65G49/06
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種吸附反轉(zhuǎn)裝置，是使吸附有脆性材料基板的吸附板繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)以使該脆性材料基板表面背面反轉(zhuǎn)，其特征在于，具有：

側(cè)框，將該旋轉(zhuǎn)軸支承成能旋轉(zhuǎn)；

中空構(gòu)件，以圍繞該旋轉(zhuǎn)軸的一部分的方式固定在該側(cè)框，且在一端部具有圓形開口部；

圓盤狀突緣，將該中空構(gòu)件的該圓形開口部加以密封，且與該旋轉(zhuǎn)軸成為一體地旋轉(zhuǎn)；

第1埠，在該突緣開口，通過配管與該吸附板連通；以及

第2埠，在該中空構(gòu)件開口，通過配管連通于空氣吸引裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附反轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：其中該第1埠夾著該旋轉(zhuǎn)軸在該突緣形成有多個(gè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的吸附反轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：其中該第2埠朝向與該旋轉(zhuǎn)軸的延伸方向正交的方向開口。