[發明專利]熒光標記的原位再活化

有效

• 申請號: 201410055087.2
• 申請日: 2014-02-18
• 公開（公告）號: CN103994987B
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: A.P.J.M.波特曼;C.J.扎奇列森
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64;G01N21/76
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 馬紅梅;徐紅燕

1.一種對樣本進行加工的方法，包括：

a. 將該樣本放置在真空室內；

b. 排空該真空室；

c. 暴露出該樣本的新表面；

d. 照亮該新表面內的熒光標記，同時通過在該新表面處局部地提供蒸氣來在該真空室內保持背景真空壓強，其中該背景真空壓強低于該新表面處的局部蒸氣壓強；

e. 獲取該新表面內的所述熒光標記的光學圖像；以及

f. 重復步驟c至e。

2.如權利要求1所述的方法，進一步包括形成所暴露的每個新表面的電子束圖像。

3.如權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，暴露出該樣本的新表面包括：通過將聚焦離子束引導向該樣本、通過將激光束引導向該樣本或者通過使用顯微切片機對該樣本進行切割來清除掉材料。

4.如權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，在該新表面處局部地提供蒸氣包括使用納米毛細管提供液體。

5.如權利要求2所述的方法，其中在該新表面處局部地提供蒸氣包括使用納米毛細管提供液體，所述方法進一步包括：

使該納米毛細管接觸到該新表面以便在光學成像之前引起來自該納米毛細管的液體流動；以及

在形成該電子束圖像之前打斷該納米毛細管與該新表面之間的接觸。

6.如權利要求2所述的方法，進一步包括：對所述電子束圖像進行組合以形成該樣本的三維展示。

7.如權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，在該新表面處局部地提供蒸氣包括通過注氣系統提供蒸氣。

8.如權利要求1或權利要求2所述的方法，進一步包括將該樣本冷卻到比-20^oC更冷。

9.如權利要求1或權利要求2所述的方法，進一步包括將該樣本加熱到比60^oC更熱。

10.如權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，該新表面處的局部蒸氣壓強大于1 ×10^-2毫巴，同時該真空室內的背景真空壓強小于5 × 10^-3毫巴。

11.一種在真空室內對樣本進行檢查的方法，包括：

在該真空室內提供具有至少一個熒光標記的樣本；

將該真空室排空至小于1 × 10^-2毫巴的壓強；

通過在熒光標記處局部地提供蒸氣來增加熒光標記的活性，其中局部地提供所述蒸氣將所述熒光標記處的壓強增加到大于真空室內的背景壓強；

通過將所述樣本暴露于照亮輻射來激勵所述熒光標記，同時所述熒光標記處的壓強大于所述真空室內的背景壓強；以及

對從該熒光標記發射出來的光進行檢測。

12.如權利要求11所述的方法，其中，在所述熒光標記處局部地提供增蒸氣包括對來自納米毛細管的液體進行分配，該液體蒸發以提供該蒸氣。

13.如權利要求12所述的方法，其中，對來自納米毛細管的液體進行分配包括：對來自具有小于20 μm的直徑的納米毛細管的液體進行分配。

14.如權利要求11至13中任一項所述的方法，進一步包括：使用掃描電子顯微術形成該樣本的圖像。