[發(fā)明專利]固體攝像裝置的制造方法以及固體攝像裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410052699.6
• 申請日: 2014-02-17
• 公開（公告）號: CN104347648A
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蘆立浩明
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社東芝
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 楊謙;胡建新

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實施方式涉及一種固體攝像裝置的制造方法以及固體攝像裝置。?

背景技術(shù)

以前，數(shù)字?jǐn)z像機或帶攝像機功能的便攜式終端等電子設(shè)備具備具有固體攝像裝置的攝像機組件。固體攝像裝置具備對應(yīng)于攝像圖像的各像素矩陣狀地二維排列的多個光電轉(zhuǎn)換元件。各光電轉(zhuǎn)換元件將入射光光電轉(zhuǎn)換成與受光量相應(yīng)的量的電荷，并作為表示各像素亮度的信號電荷進行累積。?

另外，在各光電轉(zhuǎn)換元件之間設(shè)置有將光電轉(zhuǎn)換元件彼此之間電氣性地進行元件分離的元件分離區(qū)域。例如，通過在形成有多個光電轉(zhuǎn)換元件的半導(dǎo)體層上形成以俯視矩形形狀包圍各光電轉(zhuǎn)換元件的格子狀的槽（溝），并在槽的內(nèi)部填充絕緣材料，來形成元件分離區(qū)域。?

元件分離用的槽一般利用RIE（Reactive?Ion?Etching：反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)）來形成。但是，在利用RIE形成的槽的表面有時會產(chǎn)生懸空鍵，因懸空鍵而產(chǎn)生的電子，與入射的光的有無無關(guān)地產(chǎn)生，因此，就會在攝像圖像中出現(xiàn)白色缺陷，成為畫質(zhì)變差的原因。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的問題在于提供一種能降低暗電流的固體攝像裝置的制造方法以及固體攝像裝置。?

一個實施方式的固體攝像裝置的制造方法的特征在于，包括以下步驟：通過在第一導(dǎo)電型的半導(dǎo)體層上矩陣狀地二維排列第二導(dǎo)電型的半導(dǎo)體區(qū)域，來形成多個光電轉(zhuǎn)換元件，通過以劃分所述半導(dǎo)體層的方式形成俯視格子狀的槽，來將所述光電轉(zhuǎn)換元件整形為俯視矩形形狀，將已被整形為俯視矩形形狀的所述光電轉(zhuǎn)換元件整形為角的數(shù)量比矩形多的俯視凸多邊?形形狀，在由絕緣膜覆蓋了所述槽的內(nèi)周面之后，在被該絕緣膜覆蓋的槽中設(shè)置遮光部件而形成元件分離區(qū)域。?

另外的實施方式的固體攝像裝置的特征在于，具備：第一導(dǎo)電型的半導(dǎo)體層；多個光電轉(zhuǎn)換元件，由在所述半導(dǎo)體層上矩陣狀地二維排列的第二導(dǎo)電型的半導(dǎo)體區(qū)域形成，形成為角的數(shù)量比矩形多的俯視凸多邊形形狀；以及元件分離區(qū)域，所述元件分離區(qū)域被設(shè)置成劃分所述半導(dǎo)體層，并具有與所述光電轉(zhuǎn)換元件之間的界面被絕緣膜覆蓋的遮光部件。?

發(fā)明效果?

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的固體攝像裝置的制造方法以及固體攝像裝置，能降低暗電流。?

附圖說明

圖1是示出具備實施方式涉及的固體攝像裝置的數(shù)字?jǐn)z像機的概略結(jié)構(gòu)的框圖。?

圖2是示出實施方式涉及的固體攝像裝置的概略結(jié)構(gòu)的框圖。?

圖3是示出實施方式涉及的在像素陣列中排列的光電轉(zhuǎn)換元件的俯視形狀的說明圖。?

圖4是模式地示出沿圖3所示的A－A'線剖開的截面的說明圖。?

圖5是示出實施方式涉及的固體攝像裝置的制造工序的截面模式圖。?

圖6是示出實施方式涉及的固體攝像裝置的制造工序的截面模式圖。?

圖7是示出實施方式涉及的固體攝像裝置的制造工序的截面模式圖。?

圖8是在表面照射型圖像傳感器中采用了實施方式涉及的光電轉(zhuǎn)換元件和元件分離區(qū)域結(jié)構(gòu)的情況下的說明圖。?

具體實施方式

以下，參照附圖，詳細(xì)地說明實施方式涉及的固體攝像裝置的制造方法以及固體攝像裝置。再有，本發(fā)明并不限定于該實施方式。?

圖1是示出具備實施方式涉及的固體攝像裝置14的數(shù)字?jǐn)z像機1的概略結(jié)構(gòu)的框圖。如圖1所示，數(shù)字?jǐn)z像機1具備攝像機組件11和后段處理部12。?

攝像機組件11具備攝像光學(xué)系統(tǒng)13和固體攝像裝置14。攝像光學(xué)系?統(tǒng)13取入來自被攝體的光，并使被攝體像成像。固體攝像裝置14對由攝像光學(xué)系統(tǒng)13成像的被攝體像進行攝像，并向后段處理部12輸出攝像所得的圖像信號。除了數(shù)字?jǐn)z像機1以外，這樣的攝像機組件11還適用于例如帶攝像機的便攜式終端等電子設(shè)備。?

后段處理部12具備ISP（Image?Signal?Processor：圖像信號處理器）15、存儲部16和顯示部17。ISP15進行從固體攝像裝置14輸入的圖像信號的信號處理。這樣的ISP15進行例如噪聲去除處理、缺陷像素修正處理、分辨率轉(zhuǎn)換處理等高畫質(zhì)化處理。?

然后，ISP15將信號處理后的圖像信號輸出到存儲部16、顯示部17和攝像機組件11內(nèi)的固體攝像裝置14所具備的后述的信號處理電路21（參照圖2）。從ISP15向攝像機組件11反饋的圖像信號被用于固體攝像裝置14的調(diào)整或控制。?