[發明專利]勻膠版制造工藝

有效

• 申請號: 201410052503.3
• 申請日: 2014-02-14
• 公開（公告）號: CN103823330B
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發明（設計）人: 石孟陽;熊波;莊奎乾;謝慶豐
• 申請（專利權）人: 深圳市科利德光電材料股份有限公司
• 主分類號: G03F1/60
• 分類號: G03F1/60;G03F1/68
• 代理公司: 深圳市翼智博知識產權事務所(普通合伙)44320
• 代理人: 李新梅

1.一種勻膠版制造工藝，包括以下步驟：

拋光，根據所要生產的勻膠版提供相應尺寸的玻璃基板并進行拋光處理，所述拋光處理包括粗拋與精拋兩次拋光處理；

清洗，清洗時在清洗機的水箱內增加支撐架支撐拋光后的玻璃基板，并將風刀設置于清洗機第二段對玻璃基板進行吹干；

鍍膜，在清洗后的玻璃基板上先鍍一層氮化金屬膜之后清洗，然后再鍍一層氮化金屬膜和一層氧化金屬膜；

涂膠，在玻璃基板的膜上涂一層光刻膠，所述光刻膠采用靜止滴膠的方式邊旋轉邊滴膠；以及

堅膜，玻璃基板在涂膠后先水平靜置，再豎立烘焙堅膜。

2.如權利要求1所述的勻膠版制造工藝，其特征在于，所述粗拋按正反兩面拋光30 分鐘。

3.如權利要求1所述的勻膠版制造工藝，其特征在于，所述精拋時間為正面小于1分鐘，反面1-3分鐘。

4.如權利要求1所述的勻膠版制造工藝，其特征在于，堅膜中玻璃基板水平靜置的時間為20分鐘。

5.如權利要求1所述的勻膠版制造工藝，其特征在于，涂膠中，滴膠時間為28s，壓力為0.11MPa，滴膠段數為第二段。

6.如權利要求1所述的勻膠版制造工藝，其特征在于，所述玻璃基板為尺寸為508mm*609mm，所制造的勻膠版為尺寸為508mm*609mm。