[發明專利]沉積裝置

有效

• 申請號: 201410046743.2
• 申請日: 2014-02-10
• 公開（公告）號: CN104630701B
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 金珉鎬
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;王艷春

本發明一實施例涉及用于將薄膜沉積到基板上的沉積裝置，所述沉積裝置包括：第一加載部，用于對所述基板與用于沉積第一圖案層的掩模進行結合；第一沉積部，與所述第一加載部連接，并用于噴射沉積物質；第一沉積單元，具有用于傳送所述基板的第一傳送部；以及第一卸載部，與所述第一沉積單元連接，并用于對所述基板與所述用于沉積第一圖案層的掩模進行分離，其中所述第一傳送部沿著第一方向傳送所述基板，并且在沿著與所述第一方向不同的第二方向傳送所述基板之后，沿著與所述第一方向和第二方向不同的第三方向傳送所述基板。

技術領域

本發明的實施例涉及沉積裝置。

背景技術

在顯示裝置中，有機發光顯示裝置不僅具有寬視角、優秀的對比度而且還具有快速的響應速度，因此作為次世代顯示裝置而備受矚目。

有機發光顯示裝置具有中間層，該中間層包括彼此相對的第一電極和第二電極以及置于第一電極與第二電極之間的發光層。此時，可以以多種方法形成所述電極和中間層，其中的一種方法為獨立沉積方式。為了使用沉積方法制造有機發光顯示裝置，將精細金屬掩模（fine metal mask，簡稱為FMM）粘附到待形成有機層的基板面上，然后通過沉積有機層等的材料以形成預定圖案的有機層，其中精細金屬掩模具有與待形成的有機層等的圖案相同的圖案。

上述的背景技術為發明人以推導本發明為目的而保有的技術信息、或者為在推導本發明的過程中所獲得的技術信息，其并不一定屬于在申請本發明之前已經向公眾公開的公知技術。

發明內容

本發明的實施例提供了沉積裝置。

本發明的一實施例涉及用于將薄膜沉積到基板上的沉積裝置，所述沉積裝置包括：第一加載部，用于將所述基板與用于沉積第一圖案層的掩模進行結合；第一沉積單元，與所述第一加載部相連，并且包括用于噴射沉積物質的第一沉積部和用于傳送所述基板的第一傳送部；以及第一卸載部，與所述第一沉積單元相連，并且用于將所述基板與所述用于沉積第一圖案層的掩模進行分離，其中所述第一傳送部沿著第一方向傳送所述基板，之后沿著與所述第一方向不同的第二方向傳送所述基板，然后再沿著與所述第一方向和第二方向不同的第三方向傳送所述基板。

在本實施例中，所述沉積裝置還可以包括：第一返回部，用于將在所述第一卸載部中被分離的所述用于沉積第一圖案層的掩模傳送到第一加載部。

在本實施例中，可以以“U”字形態形成所述第一傳送部。

在本實施例中，所述第一返回部的長度可以小于所述第一傳送部的長度。

在本實施例中，所述沉積裝置還可以包括：第二加載部，用于將所述基板與第二圖案層沉積用掩模進行結合；第二沉積單元，與所述第二加載部相連，并且包括用于噴射沉積物質的第二沉積部和用于傳送所述基板的第二傳送部；以及第二卸載部，與所述第二沉積單元相連，并且用于將所述基板與所述第二圖案層沉積用掩模進行分離，其中所述第二傳送部可以沿著第一方向傳送所述基板，之后沿著與所述第一方向不同的第二方向傳送所述基板，然后再沿著與所述第一方向和第二方向不同的第三方向傳送所述基板。

在本實施例中，所述沉積裝置還可以包括：第二返回部，用于將在所述第二卸載部中被分離的所述第二圖案層沉積用掩模傳送到第二加載部。

在本實施例中，所述沉積裝置還可以包括：第一連接部，用于連接所述第一卸載部與所述第二加載部。

在本實施例中，所述沉積裝置還可以包括：第三加載部，用于將所述基板與第三圖案層沉積用掩模進行結合；第三沉積單元，與所述第三加載部相連，并且包括用于噴射沉積物質的第三沉積部和用于傳送所述基板的第三傳送部；以及第三卸載部，與所述第三沉積單元相連，并且用于將所述基板與所述第三圖案層沉積用掩模進行分離，其中所述第三傳送部可以沿著第一方向傳送所述基板，之后沿著與所述第一方向不同的第二方向傳送所述基板，然后再沿著與所述第一方向和第二方向不同的第三方向傳送所述基板。