[發明專利]沉積裝置

有效

• 申請號: 201410046743.2
• 申請日: 2014-02-10
• 公開（公告）號: CN104630701B
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 金珉鎬
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;王艷春

1.一種沉積裝置，用于將薄膜沉積到基板上，所述沉積裝置包括：

第一加載部，用于將所述基板與用于沉積第一圖案層的掩模進行結合；

第一沉積單元，與所述第一加載部相連，并且包括用于噴射沉積物質的第一沉積部和用于傳送所述基板的第一傳送部；以及

第一卸載部，與所述第一沉積單元相連，并且用于將所述基板與所述用于沉積第一圖案層的掩模進行分離，

其中所述第一傳送部沿著第一方向傳送所述基板，之后沿著與所述第一方向不同的第二方向傳送所述基板，然后再沿著與所述第一方向和第二方向不同的第三方向傳送所述基板，

其中，所述沉積裝置還包括：

第一返回部，用于將在所述第一卸載部中被分離的所述用于沉積第一圖案層的掩模傳送到第一加載部，

其中所述第一返回部的長度小于所述第一傳送部的長度。

2.如權利要求1所述的沉積裝置，其中

所述第一傳送部是“U”字形態。

3.如權利要求1所述的沉積裝置，其中

所述第一方向與所述第二方向垂直。

4.如權利要求1所述的沉積裝置，其中

所述第一傳送部包括多個腔室，所述腔室是可分離的。

5.一種沉積裝置，用于將薄膜沉積到基板上，所述沉積裝置包括：

第一加載部，用于將所述基板與用于沉積第一圖案層的掩模進行結合；

第一沉積單元，與所述第一加載部相連，并且包括用于噴射沉積物質的第一沉積部和用于傳送所述基板的第一傳送部；以及

第一卸載部，與所述第一沉積單元相連，并且用于將所述基板與所述用于沉積第一圖案層的掩模進行分離，

其中所述第一傳送部沿著第一方向傳送所述基板，之后沿著與所述第一方向不同的第二方向傳送所述基板，然后再沿著與所述第一方向和第二方向不同的第三方向傳送所述基板，

其中所述沉積裝置還包括：

第二加載部，用于將所述基板與第二圖案層沉積用掩模進行結合；

第二沉積單元，與所述第二加載部相連，并且包括用于噴射沉積物質的第二沉積部和用于傳送所述基板的第二傳送部；

第二卸載部，與所述第二沉積單元相連，并且用于將所述基板與所述第二圖案層沉積用掩模進行分離，以及

第二返回部，用于將在所述第二卸載部中被分離的所述第二圖案層沉積用掩模傳送到所述第二加載部，

其中所述第二傳送部沿著所述第一方向傳送所述基板，之后沿著與所述第一方向不同的所述第二方向傳送所述基板，然后再沿著與所述第一方向和第二方向不同的所述第三方向傳送所述基板。

6.如權利要求5所述的沉積裝置，還包括：

第一連接部，用于連接所述第一卸載部與所述第二加載部。

7.如權利要求5所述的沉積裝置，還包括：

第三加載部，用于將所述基板與第三圖案層沉積用掩模進行結合；

第三沉積單元，與所述第三加載部相連，并且包括用于噴射沉積物質的第三沉積部和用于傳送所述基板的第三傳送部；以及

第三卸載部，與所述第三沉積單元相連，并且用于將所述基板與所述第三圖案層沉積用掩模進行分離，

其中所述第三傳送部沿著所述第一方向傳送所述基板，之后沿著與所述第一方向不同的所述第二方向傳送所述基板，然后再沿著與所述第一方向和第二方向不同的所述第三方向傳送所述基板。

8.如權利要求7所述的沉積裝置，還包括：

第三返回部，用于將在所述第三卸載部中被分離的所述第三圖案層沉積用掩模傳送到所述第三加載部。

9.如權利要求7所述的沉積裝置，還包括：

第二連接部，用于連接所述第二卸載部與所述第三加載部。

10.如權利要求5所述的沉積裝置，其中

所述第一方向與所述第二方向垂直。