[發明專利]一種感測器

在審

• 申請號: 201410045658.4
• 申請日: 2014-02-09
• 公開（公告）號: CN103803481A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 孟繁茂
• 申請（專利權）人: 蘇州萃智新技術開發有限公司
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種感測器，尤其是一種微機電感測器。

背景技術

感測器（英文名稱：transducer/sensor）是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將檢測感受到的信息，按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。

感測器已經被廣泛應用在工業和生活中，例如壓力計、加速度計以及陀螺儀等都屬于感測器的一種。就其原理分類，可以分為電容式、電阻式和熱感應式等很多種。

隨著微機電制造技術的飛速發展，很多感測器都采用微機電制造，以大大縮小其體積。但是，同時如何對這類微機電感測器進行封裝保護，就成為迫切需要解決的問題。如果保護過于脆弱就難以抵御外界環境等原因造成的沖擊，從而大大縮短了這類感測器的使用壽命，但是如果保護過于厚重，又可能影響其靈敏度，或者其體積也會增加。

發明內容

為了解決上述的技術問題,本發明提供了一種體積小，保護強度高的微機電感測器。

本發明所采用的技術方案是：一種感測器，包括：

基板；

感測元件，設置于所述的基板上；

至少兩層柱墻，環繞感測元件設置于所述基板上，所述的柱墻通過沉積和蝕刻形成，相連柱墻之間通過封裝膠體粘結；

感測元件結構層，覆蓋設置于最外層柱墻外圍；

至少兩個封蓋，最內層封蓋卡設于最內層兩柱墻封裝膠體之間，外層封蓋設于柱墻上。

進一步的，所述的柱墻之間的封裝膠體內設有氣穴。

進一步的，所述的感測元件上表面覆蓋有一層密封層。

進一步的，所述的密封層由絕緣重量輕的材料制成。

進一步的，所述的柱墻的厚度大于感測元件的厚度。

進一步的，所述的柱墻為氧化硅、銅或聚合物。

進一步的，所述的柱墻為兩層，封裝膠體延伸至外層柱墻的上端與封蓋結合。

本發明的有益效果是：該種感測器的包含有多層柱墻，能有效的防止感測器因撞擊而損壞，抗外界的沖擊能力大大增強，并且柱墻之間通過封裝膠體連接并且柱墻之間的封裝膠體內設有氣穴，連接更牢固，由于設置了氣穴，形成了一定的緩沖空間，因此抗沖擊能力進一步增加，不易損壞。感測元件還設有密封層，增加了支撐點，能進一步保護感測元件。

上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本發明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。本發明的具體實施方式由以下實施例及其附圖詳細給出。

附圖說明

圖1是本發明的剖視結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。

如圖1所示是本實施例的剖視結構示意圖，

一種感測器，包括：

基板1，最好是集成電路基板；感測元件4，設置于所述的基板1上，感測元件4通過焊接點6焊接與基板上1；至少兩層柱墻21，環繞感測元件4設置于所述基板1上，所述的柱墻21通過沉積和蝕刻形成，相連柱墻21之間通過封裝膠體32粘結；感測元件結構層31，覆蓋設置于最外層柱墻21的外圍；至少兩個封蓋8、10，最內層封蓋8卡設于最內層兩柱墻22封裝膠體32之間，外層封蓋10設于柱墻21上。

?所述的基板1可以是硅、砷化鎵等多種材料，這些材料已被廣泛的研發和使用。在基板1上預先制造集成電路，與感測元件共同實現感測功能，感測元件結構層31通過基板1內部的集成電路連接。

所述的柱墻21、22之間的封裝膠體32內設有氣穴11，氣穴11相當于設置一個緩沖區，增加沖擊的緩沖。

所述的感測元件4上表面覆蓋有一層密封層5，密封層5延伸到最內層柱墻22。所述的密封層5由絕緣重量輕的材料制成。

所述的柱墻21、22的厚度大于感測元件4的厚度。

所述的柱墻21、22為氧化硅、銅或聚合物。

所述的柱墻最好為兩層，封裝膠體32延伸至外層柱墻21的上端與封蓋10結合。

需要說明的是，雖然該種感測器有多層柱墻，但是相比較一層柱墻不會占有更多的空間，因為，柱墻的體積很小，兩層柱墻比一層柱墻沒有太明顯的體積上的變化，但是兩層柱墻的抗沖擊能力卻大大的增加，因此具有積極的意義。

以上所述僅為本發明的優選實施例而已，并不用于限制本發明，對于本領域的技術人員來說，本發明可以有各種更改和變化。凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。