[發明專利]一種感測器在審
| 申請號： | 201410045658.4 | 申請日： | 2014-02-09 |
| 公開（公告）號： | CN103803481A | 公開（公告）日： | 2014-05-21 |
| 發明（設計）人： | 孟繁茂 | 申請（專利權）人： | 蘇州萃智新技術開發有限公司 |
| 主分類號： | B81B7/00 | 分類號： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215011 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 感測器 | ||
【權利要求書】：
1.一種感測器，其特征在于，包括：
基板；
感測元件，設置于所述的基板上；
至少兩層柱墻，環繞感測元件設置于所述基板上，所述的柱墻通過沉積和蝕刻形成，相連柱墻之間通過封裝膠體粘結；
感測元件結構層，覆蓋設置于最外層柱墻外圍；
至少兩個封蓋，最內層封蓋卡設于最內層兩柱墻封裝膠體之間，外層封蓋設于柱墻上。
2.根據權利要求1所述的感測器，其特征是所述的柱墻之間的封裝膠體內設有氣穴。
3.根據權利要求1所述的感測器，其特征是所述的感測元件上表面覆蓋有一層密封層。
4.根據權利要求3所述的感測器，其特征是所述的密封層由絕緣重量輕的材料制成。
5.根據權利要求1-3任一項所述的感測器，其特征是所述的柱墻的厚度大于感測元件的厚度。
6.根據權利要求1-3任一項所述的感測器，其特征是所述的柱墻為氧化硅、銅或聚合物。
7.根據權利要求1-3任一項所述的感測器，其特征是所述的柱墻為兩層，封裝膠體延伸至外層柱墻的上端與封蓋結合。
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