[發明專利]光學模塊以及電子設備

有效

• 申請號: 201410042294.4
• 申請日: 2014-01-28
• 公開（公告）號: CN103969727B
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發明（設計）人: 松下友紀
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28;G02B26/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 余剛,吳孟秋

技術領域

本發明涉及光學模塊以及電子設備。

背景技術

現有技術中，已知有具有彼此相對的一對反射膜，通過改變該反射膜之間的間隙尺寸，從而從測定對象的光中取出規定波長的光的波長可變干涉濾波器(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1所述的波長可變干涉濾波器(光諧振器)具有彼此相對的第一基板以及第二基板、分別配置在各基板上并間隔著反射膜之間的間隙彼此相對的反射膜，以及分別配置在各基板上并彼此相對的電極。在這樣的波長可變干涉濾波器中，通過向電極之間施加電壓，使隔膜變形，從而能夠調整反射膜間間隙。

可是，在上述專利文獻1的波長可變干涉濾波器中，例如在隔膜的剛性或厚度尺寸不均勻的情況下，當改變反射膜間間隙的間隙尺寸時，隔膜無法均勻撓曲，有反射膜彼此之間的平行度惡化之憂。并且，在未向電極之間施加電壓的初始狀態，也存在反射膜彼此之間未維持平行的情況，這時，如果通過靜電引力變更間隙尺寸，則存在導致反射膜彼此之間的平行度進一步惡化，波長可變干涉濾波器的分辨率降低的課題。

先行技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開平7-243963號公報

發明內容

本發明的目的在于提供一種具有高分辨率的光學模塊以及電子設備。

本發明的光學模塊，其特征在于，具備：第一基板；與所述第一基板相對配置的第二基板；設在所述第一基板上，使入射光的一部分反射一部分透過的第一反射膜；設在所述第二基板上，與所述第一反射膜相對，使入射光的一部分反射一部分透過的第二反射膜；設在所述第一基板上的第一控制電極；設在所述第二基板上，與所述第一控制電極相對的第二控制電極；以及，使第一控制電流在沿所述第一基板的基板面的第一方向流過所述第一控制電極，并使第二控制電流在沿所述第二基板的基板面且在從基板厚度方向觀察所述第一基板和所述第二基板的俯視觀察中與所述第一方向方向相反的第二方向流過所述第二控制電極的傾斜控制部。

在本發明中，第一控制電極和第二控制電極彼此相對，流過第一控制電極的第一控制電流和流過第二控制電極的第二控制電流為相反方向。因此，第一控制電極以及第二控制電極分別作用有洛倫茲力的斥力。當與第一控制電極以及第二控制電極的曲率半徑相比，第一控制電極和第二控制電極之間的間隙尺寸充分小時，洛倫茲力與第一控制電極以及第二控制電極之間的間隙尺寸成反比例，因此，間隙尺寸較大部分作用有較小的斥力，但間隙尺寸較小的部分作用有較大的斥力。也就是說，第二基板相對于第一基板傾斜時，為了抑制該傾斜而作用有所述斥力，能夠抑制第一反射膜和第二反射膜的平行度的惡化。從而，能夠維持光學模塊的高分辨率。

優選地，在本發明的光學模塊中，所述第一控制電極和所述第二控制電極之間的間隙尺寸小于所述第一反射膜和所述第二反射膜之間的間隙尺寸。

在本發明中，當通過間隙變更部變更反射膜間間隙尺寸時，第一控制電極和第二控制電極相接觸，從而能夠防止第一反射膜和第二反射膜接觸，能夠防止由于接觸導致的第一反射膜和第二反射膜的劣化。

優選地，在本發明的光學模塊中，所述第一控制電極設在所述俯視觀察中所述第一反射膜的外側，所述第二控制電極設在所述俯視觀察中所述第二反射膜的外側。

在本發明中，第一控制電極和第二控制電極分別設在第一反射膜和第二反射膜的外側。在這樣的結構中，能夠擴大第一反射膜和第二反射膜的有效面積(通過干涉使所需波長的光透過或反射的區域的面積)。并且，當采用第一反射膜和第二反射膜與第一控制電極和第二控制電極不接觸(絕緣狀態)的結構時，如果作為第一反射膜和第二反射膜采用具有導電性的材料，則也能夠將該第一反射膜和第二反射膜用作例如檢測電容用電極等的電極。

優選地，在本發明的光學模塊中，在所述俯視觀察中所述第一控制電極與所述第一反射膜重疊設置，在所述俯視觀察中所述第二控制電極與所述第二反射膜重疊設置。

在本發明中，第一控制電極設在與第一反射膜重疊的區域，第二控制電極設在與第二反射膜重疊的區域。因此，通過第一控制電極和第二控制電極使斥力直接作用于設有第一反射膜和第二反射膜的區域，從而能夠更高精度地改善反射膜的傾斜，進而能夠進一步提高平行度。

優選地，在本發明的光學模塊中，所述第一控制電極和所述第二控制電極中的至少任一方電極在與另一方電極相對的面設有絕緣膜。

在本發明中，能夠防止第一控制電極和第二控制電極相接觸時的短路。

優選地，本發明的光學模塊具備：變更所述第一反射膜和所述第二反射膜之間的間隙尺寸的間隙變更部。