[發明專利]一種檢測裝置及檢測方法

有效

• 申請號: 201410041385.6
• 申請日: 2014-01-28
• 公開（公告）號: CN103792197B
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發明（設計）人: 張定濤;袁明;吳成龍;鄭云友;宋泳珍;李偉
• 申請（專利權）人: 北京京東方顯示技術有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25;G01N21/88
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種檢測裝置及檢測方法。

背景技術

現有技術公開了一種使用光傳感器來檢測平面顯示裝置生產線上移動的玻璃基板的邊緣部分破損情況的破損檢測裝置。該裝置通過設置于玻璃基板要移動的位置的下部或上部兩個傳感器，在玻璃基板通過時，用于識別玻璃基板而發出信號；控制器與所述至少兩個傳感器電連接，接收所述至少兩個傳感器的各自的信號。在玻璃基板通過所述至少兩個傳感器的上部或下部時，從所述至少兩個傳感器分別讀出接收的信號，確定玻璃基板完全通過各傳感器所需的時間，或者是在玻璃基板通過所述至少兩個傳感器的上部或下部時，對從所述至少兩個傳感器接收的信號各自的脈沖個數分別進行計數，將這樣分別確定的時間或分別計數的脈沖個數與預定的基準值進行比較，從而判斷玻璃基板有無破損。

綜上所述，現有技術判斷玻璃基板有無破損，通過傳送腔的機械手在拿取過程中，感知固定位置的破損，這時如果破損，傳送腔和機械手已經帶入玻璃碎片。另外，用傳感器進行檢查時，無論傳感器的個數有多少，在檢查過程中都會有傳感器感知不到的盲區。

發明內容

本發明提供了一種檢測裝置和用該檢測裝置檢測反應室內的玻璃基板是否破損的方法，用以在實際生產中方便、準確的檢測玻璃基板在反應室內的破損情況。

根據本發明提供的一種檢測裝置，所述裝置包括：

傳感探頭，用于接收被檢測物體的散射光；

光譜轉化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉化為光譜；

光譜比較模塊，用于將所述轉化的光譜與預先設定的光譜作比較，并根據比較結果判斷是否檢測到所述被檢測物體。

由本發明提供的一種檢測裝置，由于該裝置包括傳感探頭，用于接收被檢測物體的散射光；光譜轉化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉化為光譜；光譜比較模塊，用于將所述轉化的光譜與預先設定的光譜作比較，并根據比較結果判斷是否檢測到所述被檢測物體，本發明提供的檢測裝置，可以用于檢測反應室內的玻璃基板是否破損，在實際生產中能夠方便、準確的檢測玻璃基板在反應室內的破損情況。

較佳地，所述檢測裝置還包括：

溫度轉化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉化為溫度；

溫度比較模塊，用于將所述轉化的溫度與預先設定的溫度作比較，并根據比較結果判斷是否檢測到所述被檢測物體。

這樣，由于該裝置還包括溫度轉化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉化為溫度；溫度比較模塊，用于將所述轉化的溫度與預先設定的溫度作比較，并根據比較結果判斷是否檢測到所述被檢測物體，本發明提供的檢測裝置，可以用于檢測反應室內的玻璃基板是否破損，在實際生產中能夠方便、準確的檢測玻璃基板在反應室內的破損情況。

較佳地，所述檢測裝置還包括：

信號反饋模塊，用于當檢測到所述被檢測物體時，發出反饋信號到與所述檢測裝置連接的控制單元。

這樣，由于該裝置還包括信號反饋模塊，于當檢測到所述被檢測物體時，發出反饋信號到與所述檢測裝置連接的控制單元，該控制單元可以控制所述反應室停止工作，能夠及時將發生玻璃基板破損的反應室停止，杜絕了破損基板繼續轉送到其它腔室的可能，只在發生破損的反應室停下，其它腔室不影響正常生產，減輕了基板的損失和整個設備的停機時間。

較佳地，所述檢測裝置還包括與所述傳感探頭連接的搖擺式底座和電機，用于控制所述傳感探頭轉動。

這樣，與所述檢測裝置的傳感探頭連接的搖擺式底座和電機可以控制傳感探頭轉動，以便檢測裝置能夠更準確的收集玻璃基板的散射光。

本發明還提供了一種用上述檢測裝置檢測反應室內的玻璃基板是否破損的方法，所述方法包括：

檢測裝置檢測所述反應室內特定位置處的玻璃基板的散射光；

檢測裝置將檢測到的所述反應室內特定位置處的玻璃基板的散射光轉化為光譜；

檢測裝置將所述轉化的光譜與預先設定的光譜作比較，并根據比較結果判斷是否檢測到所述反應室內特定位置處的玻璃基板。

由本發明提供的一種用上述檢測裝置檢測反應室內的玻璃基板是否破損的方法，由于檢測裝置檢測所述反應室內特定位置處的玻璃基板的散射光；檢測裝置將檢測到的所述反應室內特定位置處的玻璃基板的散射光轉化為光譜；檢測裝置將所述轉化的光譜與預先設定的光譜作比較，并根據比較結果判斷是否檢測到所述反應室內特定位置處的玻璃基板，本發明提供的用于檢測反應室內的玻璃基板是否破損的方法在實際生產中能夠方便、準確的檢測玻璃基板在反應室內的破損情況。