[發明專利]一種檢測裝置及檢測方法

有效

• 申請號: 201410041385.6
• 申請日: 2014-01-28
• 公開（公告）號: CN103792197B
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發明（設計）人: 張定濤;袁明;吳成龍;鄭云友;宋泳珍;李偉
• 申請（專利權）人: 北京京東方顯示技術有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25;G01N21/88
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291
• 代理人: 黃志華

1.一種檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括：

傳感探頭，用于接收被檢測物體的散射光；其中，所述被檢測物體為玻璃碎片；

光譜轉化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉化為光譜；

光譜比較模塊，用于將所述轉化的光譜與預先設定的光譜作比較，并根據比較結果判斷是否檢測到所述被檢測物體；其中，所述預先設定的光譜為表面沉積所述玻璃碎片的反應室電極的光譜；

信號反饋模塊，用于當檢測到所述被檢測物體時，發出反饋信號到與所述檢測裝置連接的控制單元。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括：

溫度轉化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉化為溫度；

溫度比較模塊，用于將所述轉化的溫度與預先設定的溫度作比較，并根據比較結果判斷是否檢測到所述被檢測物體。

3.根據權利要求1或2所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括：

用于形成用于加熱所述被檢測物體的表面的等離子場的模塊。

4.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括與所述傳感探頭連接的搖擺式底座和電機，用于控制所述傳感探頭轉動。

5.一種用權利要求1-4任一權項所述的檢測裝置檢測反應室內的玻璃基板是否破損的方法，其特征在于，所述方法包括：

檢測裝置檢測所述反應室內特定位置處的玻璃碎片的散射光；

檢測裝置將檢測到的所述反應室內特定位置處的玻璃碎片的散射光轉化為光譜；

檢測裝置將所述轉化的光譜與預先設定的光譜作比較，并根據比較結果判斷是否檢測到所述反應室內特定位置處的玻璃碎片；其中，所述預先設定的光譜為表面沉積所述玻璃碎片的反應室電極的光譜；

所述檢測裝置檢測到所述反應室內特定位置處的玻璃碎片后，所述檢測裝置發出反饋信號到控制反應室工作的控制單元，該控制單元控制所述反應室停止工作。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述檢測裝置檢測所述反應室內特定位置處的玻璃碎片的散射光前，該方法還包括：

反應室內提升柱將反應室內玻璃基板提升，使得所述玻璃基板與反應室電極表面無接觸。

7.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述檢測裝置檢測所述反應室內特定位置處的玻璃碎片的散射光前，該方法還包括：

在所述反應室內設置照明裝置，所述照明裝置為所述反應室內特定位置處的玻璃碎片提供照射光。

8.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述檢測裝置檢測所述反應室內特定位置處的玻璃碎片的散射光前，該方法還包括：

在所述反應室內形成等離子場，所述等離子場加熱所述玻璃碎片的表面。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，所述在所述反應室內形成等離子場，包括：

在反應室施加1000瓦的13.56兆赫茲射頻電壓和500標準毫升每分鐘的氧氣，形成等離子場。

10.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述檢測裝置檢測所述反應室內特定位置處的玻璃碎片的散射光后，該方法還包括：

檢測裝置將檢測到的所述反應室內特定位置處的玻璃碎片的散射光轉化為溫度，將所述轉化的溫度與預先設定的溫度作比較，并根據比較結果判斷是否檢測到所述反應室內特定位置處的玻璃碎片。