[發(fā)明專利]壓力傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410039882.2
• 申請(qǐng)日: 2014-01-27
• 公開（公告）號(hào): CN104048792B
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 青山倫久;高月修;向井元桐;住吉雄一朗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社不二工機(jī)
• 主分類號(hào): G01L9/00
• 分類號(hào): G01L9/00
• 代理公司: 上海市華誠(chéng)律師事務(wù)所 31210
• 代理人: 梅高強(qiáng);劉煜

1.一種壓力傳感器，具有：

膜片，該膜片受到流體的壓力；

半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置，該半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置具有包含接地墊的多個(gè)連接墊；

基座，在該基座與所述膜片之間形成受壓空間，該受壓空間封入有絕緣性介質(zhì)，在所述受壓空間內(nèi)設(shè)置所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置；以及

立設(shè)在所述基座上的多個(gè)端子銷和一個(gè)接地端子銷，所述端子銷與所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置電連接，所述接地端子銷與電路的零電位連接，該壓力傳感器的特征在于，

在所述基座上，在所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置的周圍位置或周圍位置的一部分上設(shè)有除電板，

沿著從所述基座起始的高度方向從所述膜片側(cè)觀察所述基座時(shí)，所述除電板被配置成不與所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置重疊，

所述除電板被配置成該除電板距離所述基座的高度與所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置距離所述基座的高度相同，或被配置在比所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置低的位置，

所述除電板與所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置的接地墊及所述接地端子銷電連接。

2.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述除電板利用釬焊方式與所述接地端子銷電連接。

3.如權(quán)利要求1或2所述的壓力傳感器，其特征在于，所述除電板的外廓形狀是四邊形，且中央部具有窗孔。

4.如權(quán)利要求1或2所述的壓力傳感器，其特征在于，所述除電板的外廓形狀是八邊形，且中央部具有窗孔。

5.如權(quán)利要求1或2所述的壓力傳感器，其特征在于，所述除電板的外廓形狀是圓形，且中央部具有窗孔。

6.如權(quán)利要求1或2所述的壓力傳感器，其特征在于，在所述除電板的一部分上設(shè)有狹槽。

7.一種壓力傳感器，具有：

膜片，該膜片受到流體的壓力；

基座，在該基座與所述膜片之間形成有受壓空間，該受壓空間封入有絕緣性介質(zhì)，在所述受壓空間內(nèi)設(shè)置有半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置；以及

立設(shè)在所述基座上的多個(gè)端子銷和接地端子銷，多個(gè)端子銷通過連接線與所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置連接，

由所述膜片和所述基座構(gòu)成的壓力檢測(cè)部裝配成一體，該壓力傳感器的特征在于，

在所述基座上，搭載有所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置、以及配置在所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置的周圍位置或周圍位置一部分上的除電板，

沿著從所述基座起始的高度方向從所述膜片側(cè)觀察所述基座時(shí)，所述除電板被配置成不與所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置重疊，

所述除電板被配置成該除電板距離所述基座的高度與所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置距離所述基座的高度相同，或配置在比所述半導(dǎo)體式壓力檢測(cè)裝置低的位置，

所述除電板，通過接地用連接線與所述接地端子銷電導(dǎo)通。

8.如權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，所述接地用連接線的線徑比其它的連接線的線徑大。

9.如權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，所述接地用連接線由多根構(gòu)成。

10.如權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，所述除電板的外廓形狀是四邊形，且中央部具有窗孔。

11.如權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，所述除電板的外廓形狀是八邊形，且中央部具有窗孔。

12.如權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，所述除電板的外廓形狀是圓形，且中央部具有窗孔。

13.如權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，在所述除電板的一部分上設(shè)有狹槽。