[發明專利]卡盤工作臺

有效

• 申請號: 201410039747.8
• 申請日: 2014-01-27
• 公開（公告）號: CN103962729B
• 公開（公告）日: 2017-05-03
• 發明（設計）人: 佐藤淳;大庭龍吾;小川雄輝;北原信康;森數洋司;堀口義則
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/683;B23K26/38;B23K37/04
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,蔡麗娜

1.一種卡盤工作臺，其裝備于加工裝置，用于保持被加工物，

所述卡盤工作臺的特征在于，

所述卡盤工作臺具備：保持被加工物的保持工作臺；和支承該保持工作臺的工作臺基座，

該保持工作臺由下述部分構成：

復合玻璃板，其由多孔質板和收納板構成，所述多孔質板由允許空氣從正面流動至背面的多孔質玻璃形成，所述收納板由玻璃形成，具有收納該多孔質板的收納凹部，并且具備向該多孔質板傳遞抽吸力的抽吸孔；以及

環狀支承座，其具備復合玻璃板支承部和環狀支承部，所述復合玻璃板支承部支承該復合玻璃板的外周部，并且具備與該抽吸孔連通的連通孔，所述環狀支承部形成為圍繞該復合玻璃板支承部，

該工作臺基座由發光體收納部、發光體和環狀的固定部構成，該環狀的固定部用于固定構成該保持工作臺的該環狀支承座，所述發光體收納部形成于該環狀的固定部的內側，所述發光體配設于該發光體收納部中，在該工作臺基座上設置有抽吸力傳遞孔，所述抽吸力傳遞孔用于向形成于該環狀支承座的連通孔傳遞抽吸力。

2.根據權利要求1所述的卡盤工作臺，其特征在于，

在該環狀支承座的該復合玻璃板支承部形成有抽吸保持槽，通過對該抽吸保持槽作用負壓，來將該復合玻璃板以能夠裝卸的方式抽吸支承于該復合玻璃板支承部。

3.根據權利要求1或2所述的卡盤工作臺，其特征在于，

在該工作臺基座的該環狀的固定部形成有抽吸保持槽，通過對該抽吸保持槽作用負壓，來將構成該保持工作臺的該環狀支承座以能夠裝卸的方式抽吸固定于該工作臺基座的該環狀的固定部。

4.根據權利要求1或2所述的卡盤工作臺，其特征在于，

上述收納凹部為圓形，在該收納凹部的底面，設置有呈同心圓狀形成的多個圓形抽吸槽，該多個圓形抽吸槽經由連通槽而與該抽吸孔連通。

5.根據權利要求4所述的卡盤工作臺，其特征在于，

該復合玻璃板的該多孔質板和該收納板通過配設在設置于該收納板的該收納凹部的底面上的該多個圓形抽吸槽之間的結合劑而接合。

6.根據權利要求1或2所述的卡盤工作臺，其特征在于，

在該工作臺基座上設置有用于冷卻該發光體收納部的冷卻構件。