[發明專利]用于探針卡的空間轉換器的制造方法

有效

• 申請號: 201410037002.8
• 申請日: 2014-01-24
• 公開（公告）號: CN104076172B
• 公開（公告）日: 2017-01-18
• 發明（設計）人: 周冠軍;徐火剛;楊惠彬;王千魁
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R3/00
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司11245
• 代理人: 關暢,王燕秋

1.一種用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于包含有下列步驟：

a)在一第一基板上固設多個第二基板，并使得所述第一基板與各所述第二基板電性連接；

b)利用微影技術在各所述第二基板上設置一絕緣強化層，且各所述絕緣強化層具有多個穿孔；

c)在各所述穿孔內分別形成一與所述第二基板固定并電性連接的導電塊。

2.如權利要求1所述的用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于：在所述步驟c)之后還將各所述導電塊平坦化。

3.如權利要求1所述的用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于：所述第一基板為多層陶瓷板，各所述第二基板為多層有機板。

4.如權利要求1所述的用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于：所述步驟c)通過電鍍形成各所述導電塊。

5.如權利要求4所述的用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于：所述步驟c)為先設置一與所述第一基板電性連接的導電件及一包覆所述導電件的治具，所述治具包含有至少一容置槽；再將電解液注入所述容置槽，進而通過電鍍在各所述絕緣強化層的穿孔內形成各所述導電塊。

6.如權利要求5所述的用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于：所述治具包含有一上構件及一下構件，所述第一基板及所述導電件被夾持在所述上構件與所述下構件之間。

7.如權利要求5或6所述的用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于：所述治具更包覆所述第一基板及所述第一基板與各所述第二基板的接合處，且所述治具包含有多個所述容置槽，各所述容置槽分別形成在各所述絕緣強化層上。

8.如權利要求7所述的用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于：所述治具分別隔著一擋水件而壓抵于各所述絕緣強化層。

9.如權利要求5或6所述的用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于：各所述第二基板容設于單一個所述容置槽中。

10.如權利要求9所述的用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于：所述治具隔著一擋水件而壓抵于所述第一基板。

11.如權利要求9所述的用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于：所述步驟c)中，在將電解液注入所述容置槽之前，更在各所述第二基板與所述第一基板之間黏設防水膠，以避免電解液接觸所述第一基板與各所述第二基板的接合處。

12.如權利要求1所述的用于探針卡的空間轉換器的制造方法，其特征在于：所述步驟c)之后還具有一步驟d)，以去除各所述絕緣強化層。