[發明專利]基板加工裝置

在審

• 申請號: 201410036362.6
• 申請日: 2014-01-24
• 公開（公告）號: CN103978564A
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 成尾徹
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D7/04;C03B33/03;B65G49/06
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種基板加工裝置，其包括：

刻劃裝置，以依序搬送脆性材料基板的主路徑為第1方向，在該主路徑的途中，在脆性材料基板的表面形成刻劃線；以及

吸附反轉裝置，具有吸附由刻劃裝置所刻劃的該脆性材料基板并使其反轉，往下一步驟的承接部移載的吸附部；

其特征在于：

該吸附反轉裝置的吸附部，具有以旋轉軸為基端從旋轉軸的軸心往正交的方向延伸設置的多個櫛齒部的櫛狀的形狀，且形成為藉由該旋轉軸而可反轉旋動；

該承接部，以隔著間隔平行配置的多個承受構件而形成；

該吸附部的旋轉軸，沿著與該第1方向正交的方向延伸設置；

以該吸附部的櫛齒部在從刻劃裝置的平臺吸附脆性材料基板并藉由旋轉軸反轉旋動時，可潛入于該承受構件之間并將櫛齒部上的脆性材料基板載置于該承受構件的方式，將該旋轉軸配置于刻劃裝置的平臺及該承接部的附近位置。

2.根據權利要求1所述的基板加工裝置，其特征在于其中，

該承接部的承受構件，配置于從吸附部承接基板時，可以水平姿勢承接基板的位置。

3.根據權利要求1或2所述的基板加工裝置，其特征在于其中，

該承接部，由設置于裂斷裝置的平臺上面呈出沒自如的多個承受構件構成，且該承受構件，形成為在基板的移載時以突出姿勢位于該吸附部的櫛齒部之間。

4.根據權利要求1或2所述的基板加工裝置，其特征在于其中，

該承接部，由在裂斷裝置的平臺的一端部相互隔著間隔平行地形成的多個承受構件構成，且形成為在基板的移載時，該吸附部的櫛齒部潛入于承受構件之間。

5.根據權利要求1或2所述的基板加工裝置，其特征在于其中，

該承接部，藉由由多個輸送帶構成的承受構件而形成；

該各輸送帶，以較該吸附部的櫛齒部之間的間隔小的寬度形成，且形成為在基板移載時，該吸附部的櫛齒部潛入于各輸送帶之間。