[發(fā)明專(zhuān)利]一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410035505.1
• 申請(qǐng)日: 2014-01-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103792797A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李佩玥;崔洋;尹志生;鄭楠;王學(xué)亮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 長(zhǎng)春菁華專(zhuān)利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 南小平

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于光刻投影物鏡控制領(lǐng)域，具體涉及一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

光刻投影物鏡是一種超精密光學(xué)系統(tǒng)，功能性調(diào)節(jié)是光刻投影物鏡中用來(lái)補(bǔ)償因環(huán)境變化而產(chǎn)生像質(zhì)劣化的主要方法，功能性調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)時(shí)間為兩次瞬時(shí)視場(chǎng)曝光的時(shí)間間隔，通常為0.1s-0.2s，以保障光刻機(jī)產(chǎn)量。功能性調(diào)節(jié)可利用壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)像質(zhì)敏感鏡片、并采用電容傳感器作為位置反饋的方式實(shí)現(xiàn)，但是，壓電驅(qū)動(dòng)器需采用高壓驅(qū)動(dòng)的方式驅(qū)動(dòng)，若放置在物鏡周?chē)洚a(chǎn)生的熱功率將嚴(yán)重影響光刻投影物鏡的成像質(zhì)量，而電容傳感器采集的信號(hào)為極微弱電容信號(hào)，無(wú)法進(jìn)行遠(yuǎn)距離傳輸；在光刻機(jī)整機(jī)內(nèi)部，光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)與光刻投影物鏡的走線(xiàn)距離約為10-15米，調(diào)節(jié)時(shí)間長(zhǎng)，因此，需要一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提出一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，解決現(xiàn)有技術(shù)存在的壓電驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的熱功率影響成像質(zhì)量、電容傳感器無(wú)法進(jìn)行遠(yuǎn)距離傳輸和調(diào)節(jié)時(shí)間長(zhǎng)的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)包括控制機(jī)箱、功放機(jī)箱、電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱、壓電驅(qū)動(dòng)器和電容傳感器；

所述控制機(jī)箱內(nèi)包括標(biāo)準(zhǔn)VME背板、主控板卡和光纖通信板卡，所述主控板卡和光纖通信板卡插在所述標(biāo)準(zhǔn)VME背板上，所述功放機(jī)箱內(nèi)包括非標(biāo)VME背板、核心算法板卡和驅(qū)動(dòng)采集板卡，所述核心算法板卡和驅(qū)動(dòng)采集板卡插在所述非標(biāo)VME背板上，所述電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱內(nèi)包括模數(shù)轉(zhuǎn)換板卡；

所述控制機(jī)箱的光纖通信板卡通過(guò)光纖傳輸鏈路與功放機(jī)箱的核心算法板卡連接，功放機(jī)箱的驅(qū)動(dòng)采集板卡通過(guò)數(shù)字信號(hào)傳輸鏈路與電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱的模數(shù)轉(zhuǎn)換板卡連接，功放機(jī)箱的驅(qū)動(dòng)采集板卡通過(guò)高壓模擬信號(hào)傳輸鏈路與壓電驅(qū)動(dòng)器連接，電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱的模數(shù)轉(zhuǎn)換板卡通過(guò)低壓模擬信號(hào)傳輸鏈路與電容傳感器連接，所述壓電驅(qū)動(dòng)器和所述電容傳感器設(shè)置在所述光刻投影物鏡上。

所述驅(qū)動(dòng)采集板卡分別通過(guò)自定義數(shù)字信號(hào)前連接器和高壓供電信號(hào)連接器與所述非標(biāo)VME背板連接，所述非標(biāo)VME背板通過(guò)自定義數(shù)字信號(hào)后連接器與所述核心算法板卡連接。

所述控制機(jī)箱和功放機(jī)箱放置在光刻機(jī)整機(jī)控制機(jī)柜中，所述控制機(jī)箱和功放機(jī)箱與光刻投影物鏡之間的距離D的取值范圍為：10m≤D≤15m，所述電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱與光刻投影物鏡之間的距離d的取值范圍為：2m≤d≤3m。

光纖通信板卡尺寸符合VME總線(xiàn)系統(tǒng)規(guī)范中的單高模板尺寸，具有VME總線(xiàn)系統(tǒng)規(guī)范的從模塊功能，光纖通信板卡上的連接器采用VME總線(xiàn)系統(tǒng)規(guī)范中的P1連接器。

所述核心算法板卡上設(shè)置有光纖連接器，所述光纖通信板卡通過(guò)光纖傳輸鏈路與光纖連接器連接，所述驅(qū)動(dòng)采集板卡上設(shè)置有數(shù)字電容信號(hào)連接器和高壓驅(qū)動(dòng)信號(hào)連接器，所述驅(qū)動(dòng)采集板卡的數(shù)字電容信號(hào)連接器通過(guò)數(shù)字信號(hào)傳輸鏈路與所述電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱的模數(shù)轉(zhuǎn)換板卡連接，所述驅(qū)動(dòng)采集板卡的高壓驅(qū)動(dòng)信號(hào)連接器通過(guò)高壓模擬信號(hào)傳輸鏈路與壓電驅(qū)動(dòng)器連接。

所述非標(biāo)VME背板上的連接器尺寸符合VME總線(xiàn)系統(tǒng)規(guī)范中的J1連接器和J2連接器尺寸，核心算法板卡尺寸符合VME總線(xiàn)系統(tǒng)規(guī)范中的后卡模板尺寸，驅(qū)動(dòng)采集板卡尺寸符合VME總線(xiàn)系統(tǒng)規(guī)范中的雙高模板尺寸，不具有VME總線(xiàn)系統(tǒng)規(guī)范的主從模塊功能，所述數(shù)字電容信號(hào)連接器和高壓驅(qū)動(dòng)信號(hào)連接器分別采用VME總線(xiàn)系統(tǒng)規(guī)范中的P1連接器和P2連接器。

功放機(jī)箱內(nèi)驅(qū)動(dòng)采集板卡的P1連接器傳輸自定義數(shù)字信號(hào)，P2連接器傳輸自定義高壓信號(hào)。