[發(fā)明專利]一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410035505.1
• 申請日: 2014-01-24
• 公開（公告）號: CN103792797A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李佩玥;崔洋;尹志生;鄭楠;王學(xué)亮
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 南小平

1.一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括控制機(jī)箱（1）、功放機(jī)箱（4）、電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱（15）、壓電驅(qū)動器（8）和電容傳感器（17）；

所述控制機(jī)箱（1）內(nèi)包括標(biāo)準(zhǔn)VME背板（10）、主控板卡（11）和光纖通信板卡（2），所述主控板卡（11）和光纖通信板卡（2）插在所述標(biāo)準(zhǔn)VME背板（10）上，所述功放機(jī)箱（4）內(nèi)包括非標(biāo)VME背板（12）、核心算法板卡（13）和驅(qū)動采集板卡（5），所述核心算法板卡（13）和驅(qū)動采集板卡（5）插在所述非標(biāo)VME背板（12）上，所述電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱（15）內(nèi)包括模數(shù)轉(zhuǎn)換板卡（14）；

所述控制機(jī)箱（1）的光纖通信板卡（2）通過光纖傳輸鏈路（3）與功放機(jī)箱（4）的核心算法板卡（13）連接，功放機(jī)箱（4）的驅(qū)動采集板卡（5）通過數(shù)字信號傳輸鏈路（6）與電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱（15）的模數(shù)轉(zhuǎn)換板卡（14）連接，功放機(jī)箱（4）的驅(qū)動采集板卡（5）通過高壓模擬信號傳輸鏈路（7）與壓電驅(qū)動器（8）連接，電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱（15）的模數(shù)轉(zhuǎn)換板卡（14）通過低壓模擬信號傳輸鏈路（16）與電容傳感器（17）連接，所述壓電驅(qū)動器（8）和所述電容傳感器（17）設(shè)置在所述光刻投影物鏡（9）上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動采集板卡（5）分別通過自定義數(shù)字信號前連接器（20）和高壓供電信號連接器（22）與所述非標(biāo)VME背板（12）連接，所述非標(biāo)VME背板（12）通過自定義數(shù)字信號后連接器（19）與所述核心算法板卡連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述控制機(jī)箱（1）和功放機(jī)箱（4）放置在光刻機(jī)整機(jī)控制機(jī)柜中，所述控制機(jī)箱（1）和功放機(jī)箱（4）與光刻投影物鏡（9）之間的距離D的取值范圍為：10m≤D≤15m，所述電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱（15）與光刻投影物鏡（9）之間的距離d的取值范圍為：2m≤d≤3m。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，光纖通信板卡（2）尺寸符合VME總線系統(tǒng)規(guī)范中的單高模板尺寸，具有VME總線系統(tǒng)規(guī)范的從模塊功能，光纖通信板卡（2）上的連接器采用VME總線系統(tǒng)規(guī)范中的P1連接器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述核心算法板卡（13）上設(shè)置有光纖連接器（18），所述光纖通信板卡（2）通過光纖傳輸鏈路（3）與光纖連接器（18）連接，所述驅(qū)動采集板卡（5）上設(shè)置有數(shù)字電容信號連接器（21）和高壓驅(qū)動信號連接器（23），所述驅(qū)動采集板卡（5）的數(shù)字電容信號連接器（21）通過數(shù)字信號傳輸鏈路（6）與所述電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱（15）的模數(shù)轉(zhuǎn)換板卡（14）連接，所述驅(qū)動采集板卡（5）的高壓驅(qū)動信號連接器（23）通過高壓模擬信號傳輸鏈路（7）與壓電驅(qū)動器（8）連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述非標(biāo)VME背板（12）上的連接器尺寸符合VME總線系統(tǒng)規(guī)范中的J1連接器和J2連接器尺寸，核心算法板卡（13）尺寸符合VME總線系統(tǒng)規(guī)范中的后卡模板尺寸，驅(qū)動采集板卡（5）尺寸符合VME總線系統(tǒng)規(guī)范中的雙高模板尺寸，不具有VME總線系統(tǒng)規(guī)范的主從模塊功能，所述數(shù)字電容信號連接器（21）和高壓驅(qū)動信號連接器（23）分別采用VME總線系統(tǒng)規(guī)范中的P1連接器和P2連接器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，功放機(jī)箱（4）內(nèi)驅(qū)動采集板卡（5）的P1連接器傳輸自定義數(shù)字信號，P2連接器傳輸自定義高壓信號。