[發(fā)明專(zhuān)利]一種熱處理透明導(dǎo)電薄膜材料的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410035263.6
• 申請(qǐng)日: 2014-01-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103824648B
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉生忠;訾威;肖鋒偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 陜西師范大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H01B13/00
• 分類(lèi)號(hào): H01B13/00
• 代理公司: 西安西交通盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 61217
• 代理人: 王艾華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于電子材料制造技術(shù)領(lǐng)域，涉及透明導(dǎo)電薄膜材料，尤其是一種熱處理透明導(dǎo)電薄膜材料的方法，主要用于生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)的透明導(dǎo)電材料。

背景技術(shù)

隨著信息技術(shù)和光電產(chǎn)品的飛躍發(fā)展，柔性導(dǎo)電材料越來(lái)越受到人們的重視與關(guān)注，在許多領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景，如光伏電池，顯示屏等等?，F(xiàn)有透明導(dǎo)電鍍膜技術(shù)都是利用熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、真空濺射、化學(xué)氣相沉積、噴涂等方法，這些方法要想得到高透過(guò)率、高導(dǎo)電率的透明導(dǎo)電膜就必須對(duì)襯底基片加不小于200℃的溫度，而這么高的溫度使PET類(lèi)的復(fù)合材料很難使用，或即使在低溫下能鍍成透明導(dǎo)電薄膜，膜的電學(xué)或光學(xué)特性達(dá)不到技術(shù)使用要求。因此,透明導(dǎo)電塑料耐溫性差,這制約了其在柔性太陽(yáng)電池、柔性顯示領(lǐng)域的應(yīng)用。如何在低溫條件下制備具有良好光電特性?xún)?yōu)異的透明導(dǎo)電電極成了關(guān)鍵。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種熱處理透明導(dǎo)電薄膜材料的方法。

本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的：

這種熱處理透明導(dǎo)電薄膜材料的方法為：首先，在柔性襯底上沉積透明導(dǎo)電薄膜，然后在透明導(dǎo)電薄膜的兩個(gè)位置加上電壓，通入電流，使透明導(dǎo)電材料溫度上升，達(dá)到熱處理效果，提高透明導(dǎo)電材料的透過(guò)率及電學(xué)性能。

進(jìn)一步，以上在柔性襯底上沉積透明導(dǎo)電薄膜是采用熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、真空濺射、化學(xué)氣相沉積或者噴涂的方式。

進(jìn)一步，在對(duì)透明導(dǎo)電薄膜進(jìn)行熱處理時(shí)，加直流或交流電壓。

上述柔性襯底是高分子材料。所述柔性襯底是PET、聚酰胺、聚碳酸酯、聚乙烯或有機(jī)物材料。

上述透明導(dǎo)電薄膜是摻雜的氧化銦、摻雜的氧化錫和摻雜的氧化鋅中的一種或多種的混合物、合金、或疊層薄膜。

本發(fā)明得到的透明導(dǎo)電薄膜厚度在10納米到3微米之間。

進(jìn)一步的，本發(fā)明還可以通過(guò)PID控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)地改變通入電流的大小，維持透明導(dǎo)電薄膜表面的溫度不變，達(dá)到熱處理所需要的溫度。

本發(fā)明具有以下有益效果：

本發(fā)明的熱處理透明導(dǎo)電薄膜材料的方法是在透明導(dǎo)電薄膜的兩邊加上大功率的電源，電源所加的功率、時(shí)間，可以控制。當(dāng)電流通過(guò)透明導(dǎo)電薄膜時(shí)將會(huì)產(chǎn)生熱量，通過(guò)PID控制系統(tǒng)不斷地改變功率的大小，維持透明導(dǎo)電薄膜表面的溫度不變，達(dá)到熱處理所需要的溫度。這種熱處理的方式可以提高材料的導(dǎo)電性能與透過(guò)率，降低材料的損耗，提高生產(chǎn)效率；另一方面可明顯降低熱處理過(guò)程對(duì)基底材料的損傷。

附圖說(shuō)明

圖1為柔性襯底透明導(dǎo)電材料的結(jié)構(gòu)圖。

其中：1為透明導(dǎo)電材料；2為絕緣絕熱材料；3為柔性襯底。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明的熱處理透明導(dǎo)電薄膜材料的方法為：首先，在柔性襯底上沉積透明導(dǎo)電薄膜，然后在透明導(dǎo)電薄膜的兩個(gè)位置加上電壓，通入電流，使透明導(dǎo)電材料溫度上升，達(dá)到熱處理效果，提高透明導(dǎo)電材料的透過(guò)率及電學(xué)性能。在柔性襯底上沉積透明導(dǎo)電薄膜是采用熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、真空濺射、化學(xué)氣相沉積或者噴涂的方式。在對(duì)透明導(dǎo)電薄膜進(jìn)行熱處理時(shí)，加直流或交流電壓。柔性基底可以是高分子材料如PET、聚酰胺、聚碳酸酯、聚乙烯等、有機(jī)物材料等。

本發(fā)明的透明薄膜材料是下列薄膜之一：摻雜的氧化銦、摻雜的氧化錫、摻雜的氧化鋅、上述氧化物的混合物、合金、或疊層薄膜等。

本發(fā)明的透明導(dǎo)電薄膜厚度在10納米到3微米之間。

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)描述：