[發明專利]一種熱處理透明導電薄膜材料的方法有效
| 申請號： | 201410035263.6 | 申請日： | 2014-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN103824648B | 公開（公告）日： | 2016-10-19 |
| 發明（設計）人： | 劉生忠;訾威;肖鋒偉 | 申請（專利權）人： | 陜西師范大學 |
| 主分類號： | H01B13/00 | 分類號： | H01B13/00 |
| 代理公司： | 西安西交通盛知識產權代理有限責任公司 61217 | 代理人： | 王艾華 |
| 地址： | 710100 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 熱處理 透明 導電 薄膜 材料 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種熱處理透明導電薄膜材料的方法，其特征在于，首先，在柔性襯底上沉積透明導電薄膜，然后在透明導電薄膜的兩個位置加上電壓，通入電流，使透明導電材料溫度上升，達到熱處理效果，提高透明導電材料的透過率及電學性能。
2.根據權利要求1所述的熱處理透明導電薄膜材料的方法，其特征在于，在柔性襯底上沉積透明導電薄膜是采用熱蒸發、電子束蒸發、真空濺射、化學氣相沉積或者噴涂的方式。
3.根據權利要求1所述的熱處理透明導電薄膜材料的方法，其特征在于，在對透明導電薄膜進行熱處理時，加直流或交流電壓。
4.根據權利要求1所述的熱處理透明導電薄膜材料的方法，其特征在于，所述柔性襯底是高分子材料。
5.根據權利要求4所述的熱處理透明導電薄膜材料的方法，其特征在于，所述柔性襯底是PET、聚酰胺、聚碳酸酯、聚乙烯或有機物材料。
6.根據權利要求1所述的熱處理透明導電薄膜材料的方法，其特征在于，透明導電薄膜是摻雜的氧化銦、摻雜的氧化錫和摻雜的氧化鋅中的一種或多種的混合物、合金、或疊層薄膜。
7.根據權利要求1所述的熱處理透明導電薄膜材料的方法，其特征在于，透明導電薄膜厚度在10納米到3微米之間。
8.根據權利要求1所述的熱處理透明導電薄膜材料的方法，其特征在于，通過PID控制系統實時地改變通入電流的大小，維持透明導電薄膜表面的溫度不變，達到熱處理所需要的溫度。
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