[發(fā)明專利]裝載端口裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410030705.8
• 申請日: 2014-01-22
• 公開（公告）號: CN104167382B
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發(fā)明（設計）人: 船戶學;夏目光夫;落合光敏
• 申請（專利權）人: 昕芙旎雅有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種裝載端口裝置，其對能夠收納多個半導體晶圓的收納容器進行支承，通過使該收納容器的門從第1方向朝向與該第1方向不同的第2方向移動而打開上述收納容器的上述門，通過使上述收納容器的上述門從上述第2方向朝向上述第1方向移動而關閉上述收納容器的上述門，其特征在于，

該裝載端口裝置包括：

門保持構件，其用于保持上述收納容器的門；

連桿機構，其具有一端以能夠轉動的方式連結于該門保持構件的主動連桿；

引導部件，其從第1方向朝第2方向彎曲而延伸，并用于對上述主動連桿的一端進行引導；

往返移動部件，其至少具有一個驅動構件，上述主動連桿的另一端以能夠轉動的方式連結于該驅動構件，該往返移動部件用于使上述門保持構件能夠往返移動；

主軸，其在第2方向上延伸，用于使上述驅動構件在該主軸的延伸方向上移動；以及

驅動部件，其用于使上述驅動構件沿著上述主軸進行驅動；

上述連桿機構構成為：在上述主動連桿的另一端在第2方向上移動的狀態(tài)下，允許上述主動連桿的一端沿著上述引導部件從第1方向朝向第2方向移動或者從第2方向朝向第1方向移動，

上述往返移動部件還具有從動構件，該從動構件與上述驅動構件分離且由上述主軸支承為能夠在第2方向上自由移動，

上述連桿機構還具有從動連桿，該從動連桿的一端以能夠轉動的方式連結于上述主動連桿，另一端以能夠轉動的方式連結于上述從動構件，

上述門保持構件以能夠在第1方向上移動的方式支承于上述從動構件。

2.根據權利要求1所述的裝載端口裝置，其特征在于，

上述往返移動部件還具有第2驅動構件，該第2驅動構件由上述驅動部件驅動而能夠沿著上述主軸在第2方向上移動，

上述引導部件具有相同形狀的第1引導部和第2引導部，

上述連桿機構利用上述主動連桿和一端由第2引導部進行引導且另一端以能夠轉動的方式連結于上述第2驅動構件的連桿構成平行連桿，

上述門保持構件以能夠朝向第1方向移動的方式支承于上述第2驅動構件。

3.根據權利要求1或2所述的裝載端口裝置，其特征在于，

上述連桿機構和引導部件構成緊固機構，該緊固機構在向著上述門的關閉而上述主動連桿的另一端在第2方向上移動且一端在第1方向上移動時發(fā)揮肘節(jié)作用。

4.根據權利要求3所述的裝載端口裝置，其特征在于，

上述第1方向是與收納容器的門的安裝面大致正交的方向。

5.根據權利要求4所述的裝載端口裝置，其特征在于，

該裝載端口裝置還具備板狀的基體構件，該基體構件在一個面固定有上述引導部件和上述主軸，

在該基體構件中形成有在第2方向上延伸且供上述門保持構件貫穿的構件貫穿開口，

上述門保持構件經由該構件貫穿開口從上述基體構件的一個面?zhèn)认蛄硪粋€面?zhèn)妊由欤谏鲜鲆粋€面?zhèn)冗B結于上述主動連桿的一端，并且在上述另一個面?zhèn)缺３稚鲜鲩T保持構件。