[發(fā)明專利]電路圖案檢查裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410030517.5
• 申請(qǐng)日: 2014-01-22
• 公開（公告）號(hào): CN104076236A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羽森寬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: OHT株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R31/02
• 分類號(hào): G01R31/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 黃小臨

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)基板上形成的導(dǎo)體圖案群的各導(dǎo)體圖案的缺陷以非接觸方式進(jìn)行檢查的電路圖案檢查裝置。

背景技術(shù)

近年來，顯示裝置中，在玻璃基板上使用了液晶的液晶顯示裝置，或利用了等離子體的等離子體顯示裝置成為主流。在這些顯示裝置的制造工藝之中，對(duì)于作為玻璃基板上形成的電路布線的導(dǎo)體圖案，進(jìn)行有無斷線及短路的不合格檢查。

作為一般的導(dǎo)體圖案的檢查方法，例如，如特開昭62-269075號(hào)公報(bào)所記載的，已知使檢查探針的針尖接觸到導(dǎo)體圖案的兩端，從一個(gè)檢查探針(probe)施加直流檢查信號(hào)，并檢測(cè)從另一個(gè)檢查探針傳輸?shù)闹绷鳈z查信號(hào)，根據(jù)有無檢測(cè)信號(hào)來檢查有無斷線及短路的接觸式的檢查方法(pin-contact(針接觸方式))。

作為另一檢查方法，在特開2004-191381號(hào)公報(bào)中公開了使至少一對(duì)檢查探針靠近導(dǎo)體圖案，使檢查探針在與導(dǎo)體圖案非接觸且電容耦合的狀態(tài)下移動(dòng)，并且從一個(gè)檢查探針施加交流檢查信號(hào)，由另一個(gè)檢查探針檢測(cè)在導(dǎo)體圖案中傳輸?shù)慕涣鳈z查信號(hào)。根據(jù)檢測(cè)信號(hào)的波形的變化，進(jìn)行導(dǎo)體圖案中的有無斷線及短路的檢查。

在上述顯示裝置中，相對(duì)于電視機(jī)等所使用的大型的畫面大小的顯示裝置，小畫面大小的顯示裝置被裝載于攜帶式的小型電子設(shè)備。小畫面大小的顯示裝置，為了實(shí)現(xiàn)制造成本和生產(chǎn)率(每單位時(shí)間的制造片數(shù)等)的改善，使用大型(面積大的)基板，實(shí)施一次制造多個(gè)顯示裝置的制造工藝。

例如，在將大型基板上與被劃分為矩陣(matrix)配置的顯示裝置的畫面大小對(duì)應(yīng)的多個(gè)塊(block)的圖案群作為檢查對(duì)象，用具備一對(duì)檢查探針(檢查電極)的以往型的電路圖案檢查裝置進(jìn)行檢查的情況下，往返移動(dòng)與該劃分的列數(shù)相同的次數(shù)，在圖案檢查上需要時(shí)間。

此外，即使是裝載多個(gè)檢查探針，檢查位置在檢查前可變更的結(jié)構(gòu)，在檢查前，也需要與檢查對(duì)象的圖案的劃分大小(長(zhǎng)度)匹配，進(jìn)行配置變更，在以多品種少數(shù)的小型顯示裝置作為檢查對(duì)象的情況下，每次都需要繁雜的變更作業(yè)。此外，在一個(gè)基板內(nèi)混雜了不同的畫面大小的顯示裝置的檢查基板中，不能應(yīng)對(duì)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供與由基板內(nèi)上形成的多個(gè)導(dǎo)體圖案群構(gòu)成的電路圖案的畫面大小無關(guān)，不必進(jìn)行檢查前調(diào)整而應(yīng)對(duì)各種畫面大小，以非接觸方式實(shí)施各導(dǎo)體圖案的合格與否判定的電路圖案檢查裝置。

依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的電路圖案檢查裝置，包括：運(yùn)送機(jī)構(gòu)，運(yùn)送被劃分為任意的大小的、形成了排列的多個(gè)導(dǎo)體圖案群的作為檢查對(duì)象的電路板；檢查臺(tái)，在與所述電路板的運(yùn)送方向正交的方向，具有所述電路板以上的寬度，在上方通過；傳感器單元，與所述檢查臺(tái)對(duì)置，具有超過所述電路板的寬度的檢查范圍，對(duì)于所述導(dǎo)體圖案群內(nèi)排列的各導(dǎo)體圖案有間隙，由所述正交的方向上接近配置的一對(duì)供電電極和傳感器電極構(gòu)成的多個(gè)檢查電極，在與所述檢查臺(tái)對(duì)置的檢查基板的面上，在所述導(dǎo)體圖案的延伸方向上交替地配置；行傳感器(1ine?sensor)，配置在所述傳感器單元的所述運(yùn)送方向上游側(cè)，將有無形成在所述電路板上的所述導(dǎo)體圖案群與位置信息關(guān)聯(lián)檢測(cè)；選擇單元，基于來自所述行傳感器的所述位置信息，計(jì)算所述電路板上的所述導(dǎo)體圖案的兩端的位置，在所述導(dǎo)體圖案通過了所述檢查基板的下方時(shí)，至少選擇兩個(gè)與所述導(dǎo)體圖案對(duì)置的檢查電極；檢查信號(hào)供給單元，將所述選擇出的檢查電極中的至少一個(gè)電極作為供電電極，施加交流的檢查信號(hào)；檢測(cè)信號(hào)處理單元，由所述選擇出的檢查電極中的至少一個(gè)傳感器電極獲取在所述導(dǎo)體圖案中傳輸?shù)乃鰴z查信號(hào)作為檢測(cè)信號(hào)，并實(shí)施用于判定的規(guī)定的信號(hào)處理；以及缺陷判定單元，基于從所述檢測(cè)信號(hào)處理單元輸出的檢測(cè)信號(hào)，判定所述導(dǎo)體圖案的合格與否。