[發明專利]電路圖案檢查裝置

有效

• 申請號: 201410030517.5
• 申請日: 2014-01-22
• 公開（公告）號: CN104076236A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發明（設計）人: 羽森寬
• 申請（專利權）人: OHT株式會社
• 主分類號: G01R31/02
• 分類號: G01R31/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 黃小臨

1.一種電路圖案檢查裝置，其特征在于，包括：

運送機構，運送被劃分為任意的大小的、形成了排列的多個導體圖案群的作為檢查對象的電路板；

檢查臺，在與所述電路板的運送方向正交的方向，具有所述電路板以上的寬度，在上方通過；

傳感器單元，與所述檢查臺對置，具有超過所述電路板的寬度的檢查范圍，對于所述導體圖案群內排列的各導體圖案有間隙，由所述正交的方向上接近配置的一對供電電極和傳感器電極構成的多個檢查電極，被配置為在與所述檢查臺對置的檢查基板的面上，在所述導體圖案的延伸方向上交替，并且從所述運送方向觀察，所述傳感器電極在彼此的端部具有重疊；

行傳感器，配置在所述傳感器單元的所述運送方向上游側，將有無形成在所述電路板上的所述導體圖案群與位置信息關聯檢測；

選擇單元，基于來自所述行傳感器的所述位置信息，計算所述電路板上的所述導體圖案的兩端的位置，在所述導體圖案通過了所述檢查基板的下方時，至少選擇兩個與所述導體圖案對置的檢查電極；

檢查信號供給單元，將所述選擇出的檢查電極中的至少一個電極作為供電電極，施加交流的檢查信號；

檢測信號處理單元，由所述選擇出的檢查電極中的至少一個傳感器電極獲取在所述導體圖案中傳輸的所述檢查信號作為檢測信號，并實施用于判定的規定的信號處理；以及

缺陷判定單元，基于從所述檢測信號處理單元輸出的檢測信號，判定所述導體圖案的合格與否。

2.一種電路圖案檢查裝置，其特征在于，包括：

運送機構，運送被劃分為任意的大小的、形成了排列的多個導體圖案群的作為檢查對象的電路板；

檢查臺，在與所述電路板的運送方向正交的方向，具有所述電路板以上的寬度，在上方通過；

傳感器單元，與所述檢查臺對置，具有超過所述電路板的寬度的檢查范圍，使用對于所述導體圖案群內排列的各導體圖案有間隙的多個矩形的檢查電極，階梯狀地配置，以使所述檢查電極的長邊平行于所述正交的方向，并且在斜方向上成列，從而形成供電電極群和傳感器電極群，并交替地隔開間隔來配置所述供電電極群和所述傳感器電極群；

檢查信號供給單元，對所述傳感器單元的所述檢查電極的全部供電電極群施加交流的檢查信號；

檢測信號切換單元，將全部所述傳感器電極群檢測出的各個檢查信號，以基于所運送的所述電路板的運送速度的定時來切換，作為對每1個所述導體圖案關聯的部分的導體圖案的檢測信號來獲取；

檢測信號處理單元，對于所述檢測信號切換單元獲取的檢查信號，實施用于判定的規定的信號處理；以及

缺陷判定單元，基于從所述檢測信號處理單元輸出的檢測信號，判定所述導體圖案的合格與否。

3.如權利要求1或權利要求2所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于，

所述缺陷判定單元預先將判定作為合格品的導體圖案的基準信號作為閾值，設定該閾值的上下限的判定范圍并存儲，并將從檢查對象的導體圖案檢測出的檢測信號與所述判定范圍進行比較，若在該判定范圍內，則判定合格，若在判定范圍外，則判定不合格。

4.如權利要求1或權利要求2所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于，

所述缺陷判定單元將緊接之前判定合格的信號值作為基準信號，在上下設定判定范圍并存儲，將從檢查對象的導體圖案檢測出的檢測信號與所述判定范圍進行比較，如果在該判定范圍內，則判定合格，如果在判定范圍外，則判定不合格，進而將所述判定合格的檢測信號的信號值作為新的基準信號進行更新。

5.如權利要求1或權利要求2所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于，

所述檢查臺具有：

多個槽，在臺面中，從中心區域向周邊擴展而形成；

噴出單元，配置在所述中心區域，將氣體向斜上方向噴出；以及

吸氣口，在所述槽的各自的前端部分開口，吸引所述氣體，

使通過所述檢查臺上方的所述電路板的部分，通過從基板背面側沿所述槽內部向斜上方向噴出的所述氣體而浮起，從而將所述導體圖案和所述檢查電極之間的距離設定在預先確定的范圍內。