[發(fā)明專利]激光加工方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410030436.5
• 申請(qǐng)日: 2014-01-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103962728B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森數(shù)洋司;武田昇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): B23K26/38
• 分類號(hào): B23K26/38
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,蔡麗娜

1.一種激光加工方法，用于對(duì)被加工物照射激光光線來(lái)實(shí)施激光加工，所述激光加工方法的特征在于，所述激光加工方法包括：

細(xì)絲形成工序，對(duì)被加工物照射對(duì)于被加工物具有透射性的波長(zhǎng)的脈沖激光光線，從被加工物的被照射脈沖激光光線的面向內(nèi)部形成折射率比被加工物的折射率高的細(xì)絲作為光傳送路；和

激光加工工序，向該細(xì)絲照射對(duì)實(shí)施了該細(xì)絲形成工序的被加工物實(shí)施加工的脈沖激光光線，沿著該細(xì)絲傳送該脈沖激光光線，由此來(lái)實(shí)施加工。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工方法，其中，

對(duì)在該細(xì)絲形成工序中照射的脈沖激光光線進(jìn)行會(huì)聚的聚光鏡的數(shù)值孔徑被設(shè)定為0.2～0.3。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光加工方法，其中，

在該細(xì)絲形成工序中，沿著加工線以規(guī)定的間隔照射脈沖激光光線，沿著加工線形成多個(gè)該細(xì)絲。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光加工方法，其中，

在該激光加工工序中照射的脈沖激光光線沿著該細(xì)絲被引導(dǎo)到內(nèi)部并形成破壞層。