[發(fā)明專利]三維半導(dǎo)體元件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410029570.3
• 申請(qǐng)日: 2014-01-22
• 公開（公告）號(hào): CN104795103A
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳士弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 旺宏電子股份有限公司
• 主分類號(hào): G11C16/06
• 分類號(hào): G11C16/06;H01L27/11556;H01L27/11582
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 任巖

1.一種三維半導(dǎo)體元件，包括：

多層存儲(chǔ)器層(memory layers)，垂直疊層于一襯底上且這些存儲(chǔ)器層相互平行；

多條選擇線(selection lines)，位于這些存儲(chǔ)器層上方且這些選擇線相互平行；

多條位線(bit lines)，位于這些選擇線上方，且這些位線相互平行并垂直于這些選擇線；

多條串行(strings)垂直于這些存儲(chǔ)器層和這些選擇線，且這些串行(strings)被電性連接至對(duì)應(yīng)的這些選擇線；

多個(gè)存儲(chǔ)單元(cells)分別由這些串行、這些選擇線和這些位線定義，且這些存儲(chǔ)單元被排列為多列(rows)及多行(columns)，其中這些位線是平行于一行方向(columndirection)，而這些選擇線是平行于一列方向(row direction)；其中同一行中相鄰的這些存儲(chǔ)單元被電性連接至不同的這些位線；以及

多個(gè)串行接觸垂直于這些存儲(chǔ)器層和這些選擇線，且每個(gè)該串行接觸的設(shè)置是對(duì)應(yīng)于這些存儲(chǔ)單元的每個(gè)該串行，其中這些串行接觸被電性連接至對(duì)應(yīng)的這些選擇線和對(duì)應(yīng)的這些位線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件，其中至少兩條這些位線對(duì)應(yīng)地位于同一行中的這些存儲(chǔ)單元處。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件，其中四條這些位線是相對(duì)應(yīng)地設(shè)置于同一行中的這些存儲(chǔ)單元處。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件，其中至少相鄰的這些兩列的這些存儲(chǔ)單元被電性連接至這些選擇線之一。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件，其中相鄰的這些四列的這些存儲(chǔ)單元被電性連接至這些選擇線之一。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件，其中這些串行接觸的位置是偏移于相對(duì)應(yīng)的這些存儲(chǔ)單元的中心。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件，其中對(duì)應(yīng)于同一列的這些存儲(chǔ)單元的這些串行接觸，相鄰的這些串行接觸其中心是未對(duì)準(zhǔn)的排列。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件，其中對(duì)應(yīng)于同一列的這些存儲(chǔ)單元的這些串行接觸，每相隔一個(gè)的這些串行接觸是沿著該列方向排成一直線。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的元件，其中對(duì)應(yīng)于同一列的這些存儲(chǔ)單元的這些串行接觸是沿著該列方向分別排成一第一直線和一第二直線，且該第一直線是位于對(duì)應(yīng)這些串行的一上方部份(upper portion)，且該第二直線是位于對(duì)應(yīng)這些串行的一下方部份(lowerportion)，

其中當(dāng)這些存儲(chǔ)單元排列成一矩陣陣列(matrix array)，這些串行接觸是透過(guò)一圖案化金屬層(patterned metal layer)和多個(gè)導(dǎo)電孔(conductive vias)而電性連接至對(duì)應(yīng)的這些位線，其中該圖案化金屬層包括多個(gè)金屬部(metal portions)其分別形成于對(duì)應(yīng)的這些存儲(chǔ)單元的這些串行接觸處，每該個(gè)導(dǎo)電孔是形成于每該金屬部上以電性連接至對(duì)應(yīng)的該位線，其中這些金屬部是部份地或完全地遮蓋對(duì)應(yīng)的這些串行接觸，其中于同一列的這些存儲(chǔ)單元，其相鄰的這些金屬部是錯(cuò)開地設(shè)置，

其中，兩相鄰的這些存儲(chǔ)單元之間，沿著該列方向的距離為一存儲(chǔ)單元x節(jié)距PX和沿著該行方向的距離為一存儲(chǔ)單元y節(jié)距Py，當(dāng)這些金屬部之一至少部份地遮蓋對(duì)應(yīng)的該串行接觸且該金屬部為長(zhǎng)方形的一第一部(first part)時(shí)，該第一部具有分別平行于該列方向和該行方向的一寬度X和一長(zhǎng)度Y1，其中2PX＞X＞PX and Y1＜1/2Pv；當(dāng)該金屬部完全地遮蓋對(duì)應(yīng)的該串行接觸時(shí)，該金屬部包括該第一部和一第二部(second part)連接該第一部，該第一部和該第二部的總長(zhǎng)度(overall length)Y2是平行于該行方向，其中Y2＞1/2Py。