[發(fā)明專利]磁控濺射鍍膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410029234.9
• 申請日: 2014-01-22
• 公開（公告）號: CN103789739A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設計）人: 王魯南;王建華;竇立峰
• 申請（專利權）人: 南京匯金錦元光電材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 王清義

1.磁控濺射鍍膜裝置，包括多個真空腔體，相鄰兩腔體之間以隔板分隔，其特征是：隔板兩側壁上均開有v形槽，兩個v形槽的頂端相對；把相鄰兩腔體連通的板縫開在兩v形槽的頂端之間；在v形槽處設置有兩個隔離條，隔離條沿著v形槽的長度方向延伸，兩個隔離條位于v形槽對稱軸的兩側，隔離條與v形槽斜側面相對的表面為與v形槽斜側面相平行的斜面，兩個隔離條相對的平面相互平行；在v形槽的長度方向上，板縫的長度小于隔離條長度，隔離條長度小于v形槽長度；隔離條與驅動裝置相連；兩個隔離條在驅動裝置帶動下移動時，隔離條的斜面與v形槽的斜側面接觸并在斜側面的導向下，兩個隔離條相對移動，兩個隔離條相對的平面相接觸。

2.如權利要求1所述的磁控濺射鍍膜裝置，其特征是：兩個隔離條之間設置有常態(tài)時使得兩個隔離條相對的平面相互分離的彈性裝置。

3.如權利要求1所述的磁控濺射鍍膜裝置，其特征是：驅動裝置包括能夠沿著v形槽的對稱軸移動的前后移動裝置，兩端分別與隔離條和前后移動裝置鉸接的連桿。

4.如權利要求3所述的磁控濺射鍍膜裝置，其特征是：兩個連桿之間設置有常態(tài)時使得連接在連桿上的兩個隔離條相對的平面相互分離的彈性裝置。

5.如權利要求1所述的磁控濺射鍍膜裝置，其特征是：隔離條以彈性材料制成。